[发明专利]一种发光二极管晶圆膜环分离自动化生产设备

说明书

本发明公开了一种发光二极管晶圆膜环分离自动化生产设备，包括上料机构、残膜铁环分离机构、内环分离区、残膜收集区、外环收集区、打包贴标区、机台一、机台二，其中：机台一一侧设有机台二，机台一上安装有残膜铁环分离机构、内环分离区、残膜收集区、外环收集区、打包贴标区，机台二上安装有上料机构，上料机构由Z轴电机模组、Y轴电机模组、入料支撑杆、入料底板、料盒运载装置组成，料盒放置在料盒运载装置上，料盒运载装置安装在入料滑道上，使其在规定的位置运动。本发明的优点在于：利用气缸将铁环与残膜分离,内环与残膜分离并收集,残膜与外环分离并收集，实现了膜环分离的自动化生产，有效降低生产成本，提高膜环分离作业效率。

技术领域

本发明涉及发光二极管晶圆自动化作业技术领域，尤其涉及一种发光二极管晶圆膜环分离自动化生产设备。

背景技术

在半导体行业，膜环分离是靠外力将内环脱离，然后在将外环与残膜进行剥离的方式进行，并且对分离后的内环、外环、残膜分开单独收集。目前行业内大部分采用人工进行拆环动作，人工拆环的速度低，很难保证内环、外环朝向一致，影响加工效率，增加企业生产成本，存在不足。

发明内容

本发明的目的在于提供了一种发光二极管晶圆膜环分离自动化生产设备，利用气缸将铁环与残膜分离,内环与残膜分离并收集,残膜与外环分离并收集，实现了膜环分离的自动化生产，有效降低生产成本，提高膜环分离作业效率。

为实现所述目的，本发明提供如下技术方案：一种发光二极管晶圆膜环分离自动化生产设备，包括上料机构、残膜铁环分离机构、内环分离区、残膜收集区、外环收集区、打包贴标区、机台一、机台二，其中：机台一一侧设有机台二，机台一上安装有残膜铁环分离机构、内环分离区、残膜收集区、外环收集区、打包贴标区，机台二上安装有上料机构；

上料机构由Z轴电机模组、Y轴电机模组、入料支撑杆、入料底板、入料滑道、料盒运载装置组成，料盒放置在料盒运载装置上，料盒运载装置安装在入料滑道上，使其在规定的位置运动，两侧的入料滑道安装于入料底板上，入料底板上安装有Y轴电机模组，Y轴电机模组与料盒运载装置连接，Y轴电机模组驱动料盒运载装置于入料滑道上进行横向运动，入料底板底部安装有入料支撑杆，机台一内安装有Z轴电机模组，Z轴电机模组与入料底板连接，Z轴电机模组驱动入料底板进行升降运动，进而带动上料机构升降便于多层次上下料；

残膜铁环分离机构由铁环固定块、分离装置滑道、分离装置滑道支撑柱 、铁环夹取气缸、分离装置固定板、分离装置下压板、下压板滑动支柱、滑动支柱固定环、翻转支架、旋转气缸、下压气缸、吸嘴、机台基座、移载装置支架一、移载气缸一组成，移载装置支架一及分离装置滑道固定在机台基座上，残膜铁环分离机构安装在分离装置滑道上由分离装置滑道支撑柱支撑，分离装置滑道上安装有分离装置固定板，分离装置固定板由个下压板滑动支柱支撑且与分离装置下压板相连接，四个滑动支柱固定环安装在分离装置固定板上保证其稳定性，分离装置固定板一侧安装有下压气缸，带动旋转气缸及翻转支架上下运动，分离装置固定板安装有旋转气缸，旋转气缸与翻转支架连接，翻转支架上安装有吸嘴；