[发明专利]一种LED芯片光电性与外观一体化检测设备

权利要求书

1.一种LED芯片光电性与外观一体化检测设备，包括晶圆机器手臂(1)，AOI检测视觉系统(2)、AOI检测平台(3)、料匣(4)、机台(5)、测针平台(6)、测针移动平台(7)；其特征在于：料匣(4)固定在机台(5)的上下料放置区上，机台(5)上安装有晶圆机器手臂(1)、AOI检测视觉系统(2)、AOI检测平台(3)、测针平台(6)、测针移动平台(7)；

所述晶圆机器手臂(1)由夹爪一(8)、夹爪二(9)、联动轴一(10)、联动轴二(11)、联动轴三(12)、联动轴四(13)、感应装置(14)、腔体(15)构成，联动轴四(13)连接联动轴二(11)，联动轴三(12)连接联动轴一(10)，联动轴四(13)与联动轴三(12)装进腔体(15)内，感应装置(14)与联动轴一(10)和联动轴二(11)连接，联动轴一(10)前端安装有夹爪二(9)，联动轴二(11)前端安装有夹爪一(8)；

所述料匣(4)由料匣把手(16)、料盒(17)、放置片源装置(18)构成，料匣把手(16)设置于料盒(17)上方，放置片源装置(18)安装于料盒(17)内；

所述测针平台(6)、测针移动平台(7)组成点测平台，包括信号计算装置一(19)、信号计算装置(20)、感应器一(21)、轨道(22)、无损清针装置(23)、显微镜(24)、积分球(25)、CCD相机视觉组件(26)，激光测距仪(27)，感应器二(28)，马达一(29)，转动轴(30)，轨道二(31)、马达二(32)、感应器三(33)，自动调针装置(34)，感应器四(35)、主动式寻边器(36)、感应器五(37)、感应器六(38)；其特征在于：测针移动平台(7)左侧下方安装有马达一(29)，马达一(29)右侧与轨道二(31)连接，轨道二(31)上方设有转动轴(30)，轨道二(31)右侧连接有马达二(32)，转动轴(30)固定于轨道二(31)上，测针平台(6)左右两侧分别设置有信号计算装置(19)、信号计算装置(20)，信号计算装置(19)、信号计算装置(20)共同连接积分球(25)收集数据，显微镜(24)与积分球(25)连接，CCD相机视觉组件(26)下方连接有激光测距仪(27)，并固定于轨道(22)上，测针平台(6)左侧固定有感应器五(37)、感应器六(38)，感应器五(37)、感应器六(38)与感应器二(28)连接，测针平台(6)右侧固定有感应器一(21)、感应器四(35)，感应器一(21)、感应器四(35)与感应器三(33)连接，感应器四(35)与自动调针装置(34)连接，自动调针装置(34)与主动式寻边器(36)相连。

2.根据权利要求1所述的一种LED芯片光电性与外观一体化检测设备，所述AOI检测视觉系统(2)、AOI检测平台(3)组成AOI检测平台，包括大理石(39)、主检相机(41)、主检镜头(40)、复检相机(42)、复检镜头(44)、固定支架(43)、调焦镜头(45)、定制光源(53)、光源(54)：其特征在于：大理石(39)固定于AOI检测平台(3)上，主检相机(41)固定于大理石(39)上，主检相机(41)下方安装有主检镜头(40)，主检镜头(40)与定制光源(53)连接，固定支架(43)上部安装有复检相机(42)，复检相机(42)与复检镜头(44)连接，固定支架(43)下部连接有调焦镜头(45)，调焦镜头(45)与光源(54)连接。

3.根据权利要求2所述的一种LED芯片光电性与外观一体化检测设备，其特征在于：所述大理石(39)下方设置有AOI移动平台(46)。

4.根据权利要求3所述的一种LED芯片光电性与外观一体化检测设备，所述AOI移动平台(46)包括皮带(47)、马达一(48)、轨道一(49)、马达二(50)、载台(51)、轨道二(52)，其特征在于：轨道二(52)一端安装有马达一(48)，轨道二(52)上安装有轨道一(49)，马达一(48)通过皮带(47)驱动轨道一(49)于轨道二(52)上移动，轨道一(49)一端安装有马达二(50)，轨道一(49)上安装有载台(51)，马达二(50)通过皮带(47)驱动载台(51)于轨道一(49)上移动，通过马达一(48)、马达二(50)，实现载台(51)在X、Y方向的水平移动。