[发明专利]一种多层膜的制备方法及多层膜有效
| 申请号： | 201910931338.1 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112578480B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 姚舜;刘铭恩;李春;邓文渊;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B1/115 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多层 制备 方法 | ||
1.一种多层膜的制备方法，其特征在于，包括：
将目标多层膜的材料厚度比例代入厚度应力关系式，得到所述目标多层膜在沉积温度时的沉积应力；所述厚度应力关系式为所述材料厚度比例与所述目标多层膜的应力的线性关系表达式；
将与所述目标多层膜的材料厚度比例相同的第一样品在第一温度下退火，并测量退火后的所述第一样品的应力；所述第一温度大于所述目标多层膜的沉积温度，小于所述目标多层膜的相变温度；
建立退火温度与应力变化量的坐标系，将所述第一样品的应力及所述目标多层膜在沉积温度时的沉积应力带入，并进行线性拟合得到温度应力关系式；其中，所述应力变化量为所述第一样品的应力与所述目标多层膜在沉积温度时的沉积应力的差值；
通过所述温度应力关系式得到所述目标多层膜对应的目标退火温度；
依据所述目标多层膜的材料厚度比例沉积多层膜，并在所述目标退火温度下对所述多层膜进行退火，得到所述目标多层膜。
2.如权利要求1所述的多层膜的制备方法，其特征在于，所述厚度应力关系式的获得方法为：
制备多个与所述目标多层膜材料相同的不同材料厚度比例的第二样品，并测量所述第二样品在沉积后的第一应力；
建立材料厚度比例与第一应力的坐标系并将多个所述第二样品的数据代入做线性拟合，得到所述厚度应力关系式。
3.如权利要求2所述的多层膜的制备方法，其特征在于，所述第二样品的数量为2个。
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