[发明专利]一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备及检测方法

说明书

本发明公开了一种用于太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备及其检测方法,所述检测设备包括机架，机架上设置有多个滚筒，多个滚筒一端设置有晶柱检测站，晶柱检测站下方设置有一载台顶升机构，晶柱检测站处的晶柱左右两侧对称设置有可上下升降的N个激光测距头，晶柱的上方设置有晶柱高度激光测距仪，本发明用于对晶柱切面平整度及垂直度的检测，位于晶柱左右两侧的N个激光测距头上下移动测量出N*N对数据，然后发送到计算机，计算机根据预设的算法，对这些数据进行加工和处理，可以很精确的计算出晶柱切面平整度及垂直度数据，操作非常方便。

技术领域

本发明涉及半导体检测设备技术领域，尤其涉及一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备及检测方法。

背景技术

太阳能晶柱(或称晶棒，硅棒)是制备太阳能晶硅电池片的基础原料，一般通过直拉法长晶，长晶出来的晶柱一般呈圆柱体状，将圆柱体状晶棒切头去尾后，再对圆柱体状的晶柱侧面进行切割，将其切割成长方体状晶柱，再将长方体状的晶柱通过线切割加工成长方形薄片，其中，将圆柱体状的晶柱加工成长方体晶柱后，需要对晶柱的切面进行平整度和垂直度的检测，目前还没有一种专门的设备能够对晶柱的切面进行平整度和垂直度的检测。

发明内容

本发明提供一种用于太阳能晶柱切面平整度及垂直度检测设备，能够检测出太阳能晶柱切面的平整度和垂直度。

本发明提供的具体技术方案如下：一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备，包括机架，机架上设置有多个滚筒，多个滚筒用于输送承载有待检测晶柱的载台，所述多个滚筒一端设置有晶柱检测站，所述晶柱检测站下方设置有一载台顶升机构，所述晶柱检测站处的滚筒之间留有载台顶升机构上下运动的避让空间，所述载台顶升机构能够驱动载台作上下升降和旋转运动，晶柱检测站处的晶柱的左右两侧各设置有N个激光测距头，位于晶柱左侧的N个激光测距头通过左支架可上下滑动地设置于左升降机构，位于晶柱右侧的N个激光测距头通过右支架可上下滑动的设置于右升降机构，位于晶柱左侧的N个激光测距头与位于晶柱右侧的N个激光测距头一一正对设置且均可朝向晶柱发出激光射线，正对设置的两个激光测距头发出的激光线位于同一直线上，所述晶柱检测站处的晶柱上方设置有晶柱高度激光测距仪，还包括一控制机构，所述控制机构与载台顶升机构、左升降机构、右升降机构和晶柱高度激光测距仪连接。

更具体的，载台顶升机构包括固定至机架的底板，安装在底板上的升降气缸，所述升降气缸的活塞杆向上连接至电机安装板，所述电机安装板下端固定安装有导柱，所述底板上固定安装有与导柱相配的套筒，导柱在套筒内滑动，所述电机安装板上安装有载台旋转电机，所述载台旋转电机的输出轴连接一转盘，所述转盘上端驱动连接一水平设置的顶板，所述载台旋转电机能够驱动顶板在水平面内做360度自转，所述顶板上设置有至少两个限位柱，所述载台设置有与限位柱对应的限位孔。

更具体的，左升降机构包括一竖直设置的左直线模组以及位于左直线模组两侧的一对左滑轨，安装有N个激光测距头的左支架可上下滑动地设置于一对左滑轨和左直线模组上，左直线模组一端设置有左电机，由左电机驱动左侧的N个激光测距头作上下升降运动。

更具体的，右升降机构包括一竖直设置的右直线模组以及位于右直线模组两侧的一对右滑轨，安装有N个激光测距头的右支架可上下滑动地设置于一对右滑轨和右直线模组上，右直线模组一端设置有右电机，由右电机驱动右侧的N个激光测距头作上下升降运动。

更具体的，控制机构包括计算机和运动控制卡，所述激光测距仪连接计算机。

更具体的，所述N的值为大于或等于1的整数。

更具体的，所述N等于3。

一种太阳能晶柱的平整度垂直度检测设备的检测方法，包括如下步骤：