[发明专利]干燥装置

权利要求书

1.一种干燥装置，其特征在于，包括透光壳体、干燥外壳和红外线加热装置，所述透光壳体内设置有用于放置晶圆的容腔；

所述红外线加热装置发射的红外线能够穿过所述透光壳体对所述透光壳体内的晶圆进行干燥；

所述透光壳体设置在所述干燥外壳内，且所述透光壳体的上端凸出于所述干燥外壳，所述红外线加热装置设置在所述干燥外壳上；

在所述透光壳体上设置有遮盖板，所述遮盖板向外延伸并所述遮盖板至少能够遮盖所述干燥外壳和所述透光壳体之间的缝隙；

所述干燥外壳的底部设置有固定块，所述固定块用于固定透光壳体；

所述遮盖板凸出于所述干燥外壳的外壁，且在所述遮盖板远离所述透光壳体一侧设置有导流板，所述遮盖板与干燥外壳上端之间以及所述导流板与部分所述干燥外壳的外壁之间形成气流通道。

2.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥外壳的侧壁上设置有至少一个安装口；

在所述安装口处设置有所述红外线加热装置，所述红外线加热装置发射的红外线通过所述安装口对所述透光壳体内的晶圆进行干燥。

3.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥外壳上设置有两个所述安装口；两个所述安装口分别设置在所述干燥外壳的相对的侧壁上；

且在每一所述安装口处均设置有一个所述红外线加热装置，两个所述红外线加热装置分别从所述透光壳体的两侧对所述晶圆进行干燥。

4.根据权利要求2所述的干燥装置，其特征在于，所述红外线加热装置包括红外线加热管和安装罩，所述安装罩设置在所述安装口，所述红外线加热管设置在所述安装罩内。

5.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述安装罩内设置有反光层，所述反光层用于将所述红外线加热管照向所述安装罩的红外光线反射向所述透光壳体。

6.根据权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述安装罩上设置有散热孔。

7.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述透光壳体由透明的石英制成。

8.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述透光壳体内设置有用于测量温度的温度传感器。

9.根据权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述透光壳体下端设置有排水管，所述排水管与透光壳体内连通；在所述干燥外壳上设置有穿孔，且所述排水管穿设在所述穿孔。