[发明专利]用于密闭箱室内的真空装置

说明书

本发明公开了一种用于密闭箱室内的真空装置，包括真空室和真空泵，真空室与真空泵之间依次连接波纹管、弯头管道和高真空管道，五者之间均设有金属密封结构；真空室安装在支架平台上；真空室前门通过前门运动机构安装于真空室上，前门运动机构与桁架固定连接，进而安装在支架平台上；真空室设有真空室底门法兰，真空室底门安装在底门升降机构上；真空室前门和真空室底门与真空室之间均设有密封圈密封结构。本发明除运动机构的门密封之外，所有的密封连接采用金属密封，保证连接可靠和真空密封；运动机构的门由电机驱动，通过动力机械手实现电机的远程检维修；密封圈保持架法兰设计有动力机械手接口，方便机械手远程操作。

技术领域

本发明涉及真空装置领域，具体是一种用于密闭箱室内的真空装置。

背景技术

在医疗、核工业等有洁净要求和需要强辐射防护的应用领域中，实验设备往往安装在由一定密封要求的大型箱室内，箱室内由于有较强的辐射剂量和超洁净要求，人员不宜进入箱室内进行直接操作设备，而且在辐照条件下许多元器件的性能与常态时不一样，对装置本身性能及检维修性提出了更高的要求。真空类设备与其他设备不同，真空性能指标是设备核心参数，影响因素较多，对密封性要求很高。

发明内容

本发明为了解决上述的技术问题，而提供一种用于密闭箱室内的真空装置。

本发明是按照以下技术方案实现的：

一种用于密闭箱室内的真空装置，包括安装于密闭箱室内的真空室以及安装于密闭箱室外的真空泵，真空室与真空泵之间依次连接波纹管、弯头管道和高真空管道；所述真空室和波纹管、波纹管和弯头管道、弯头管道和高真空管道之间均设有金属密封结构；

所述真空室安装在支架平台上；真空室前门通过前门运动机构安装于真空室上，前门运动机构与桁架固定连接，进而安装在支架平台上；所述真空室设有真空室底门法兰，真空室底门安装在底门升降机构上；所述真空室前门和真空室底门与真空室之间均设有密封圈密封结构。

进一步的，所述金属密封结构包括第一法兰、第二法兰、定位组件、金属密封圈和连接件；所述第一法兰密封侧四个角设均有安装孔，安装孔底部形成螺纹孔；所述定位组件包括螺栓、第二弹簧和定位销；定位销通过螺栓安装在第一法兰安装孔底部的螺纹孔内；所述定位销与第一法兰安装孔孔壁之间设有第二弹簧； 所述金属密封圈弯曲为方形，套在第一法兰四角安装的定位组件中的定位销上；所述第一法兰和第二法兰通过连接件紧固。

进一步的，所述定位销为内部中空结构，螺栓位于定位销内，定位销一端内径形成缩径，螺栓的螺帽卡在定位销的内径缩径处；所述定位销与内径缩径同端的外径形成缩径，第二弹簧套在定位销的外径缩径部。

进一步的，所述密封圈密封结构包括真空室法兰、保持架法兰、门法兰、夹取块、挂件组件、密封圈；所述真空室法兰上端设有用于安装挂件组件的安装定位槽；所述保持架法兰上部设有一个以上的安装孔，与安装孔数量对应的挂件组件固定于安装孔内，所述挂件组件包括销柱、垫片和螺钉；所述保持架法兰顶部正中安装有夹取块；所述保持架法兰两侧均设有密封槽，密封圈置于密封槽内。

进一步的，所述前门运动机构包括门架、动力机构和活动连接机构； 所述门架通过活动连接机构连接真空室前门；所述活动连接机构包括安装在门架上的加力块，加力块通过加力轴和第一弹簧与挡块连接；所述挡块上安装有第三滑块，第三滑块在第三导轨上滑动，第三导轨安装在门架上；所述挡块还与连杆连接；所述连杆两端分别通过摆臂与真空室前门连接，连杆、摆臂、真空室前门之间的连接形式为铰链连接，形成四连杆结构；所述门架上设计有螺纹孔，顶丝与螺纹孔配合安装，实现真空室前门的手动预紧；所述真空室前门底部安装有支撑滚轮，滚轮支撑在轨道上运动；所述轨道为L形截面轨道，其侧面有缺口，以便于支撑滚轮能通过缺口进行前后运动；真空室法兰侧面安装有真空室前门的限位滚轮。