[发明专利]匀化的非相干光源装置

权利要求书

1.一种匀化的非相干光源装置，其特征在于，包括放大自发辐射光源、光束耦合单元、以及匀光光导，其中，所述放大自发辐射光源、所述光束耦合单元、以及所述匀光光导沿着光束传播方向依次设置，并且设置的位置和朝向使得所述放大自发辐射光源输出的光耦合到所述匀光光导的输入端面，所述匀光光导的长度与口径之比大于或等于预设比值，以使所述放大自发辐射光源输出的光在所述匀光光导的输出端面处成像的大小大于或等于所述匀光光导口径的2倍。

2.如权利要求1所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述放大自发辐射光源包括激光器、位于所述激光器后方的后腔镜、以及位于所述激光器前方的前窗，所述后腔镜和所述前窗组成激光腔，所述后腔镜为高反镜。

3.如权利要求2所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述前窗后向传输的放大自发辐射光束经过所述后腔镜反射和双程放大后成像在所述匀光光导内部。

4.如权利要求1所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述光束耦合单元包括第一柱面透镜和第二柱面透镜，所述第一柱面透镜比所述第二柱面透镜更靠近所述放大自发辐射光源，所述第一柱面透镜使所述放大自发辐射光源输出的光束沿其截面长轴方向汇聚，所述第二柱面透镜使所述放大自发辐射光源输出的光束沿其截面短轴方向汇聚，所述第一柱面透镜与所述第二柱面透镜的焦平面重合，所述第一柱面透镜和所述第二柱面透镜的焦距之比等于光束截面的长短轴之比。

5.如权利要求1所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述光束耦合单元包括使所述放大自发辐射光源输出的光束汇聚的球面镜。

6.如权利要求1所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述匀光光导的所述输入端面定位于光束轮廓与光导截面相当的位置。

7.如权利要求1所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述匀光光导包括紫外石英制成的棱柱和圆柱、以及单芯紫外光纤和空心紫外光纤中至少一种。

8.如权利要求1所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，还包括位于所述匀光光导输出端面前方的像传递单元。

9.如权利要求8所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述像传递单元包括传输透镜，所述匀光光导的输出端面位于所述传输透镜的前焦面上。

10.如权利要求9所述的匀化的非相干光源装置，其特征在于，所述像传递单元还包括位于所述传输透镜后方的聚焦透镜。