[发明专利]掩模对准装置和掩模对准方法

说明书

本发明公开了一种掩模对准装置和掩模对准方法。此掩模对准装置包括：探测单元、照明单元和工件台单元；照明单元包括背光光源、同轴光源和环形光源；背光光源位于工件台单元背离探测单元的一侧；工件台单元背离背光光源的一侧表面用于承载待对位掩模；同轴光源的光轴、环形光源的光轴以及探测单元的中心轴均同轴设置，且同轴光源、环形光源和探测单元均位于工件台单元的同一侧；待对位掩模包括定位标记，定位标记包括通孔和/或凹槽；背光光源用于在定位通孔时提供照明，同轴光源和环形光源用于在定位凹槽时提供照明。本发明的技术方案可提高掩模中的定位标记的测量准确度，从而提高掩模与框架的对准精度。

技术领域

本发明实施例涉及掩模板的测量技术领域，尤其涉及一种掩模对准装置和掩模对准方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)具备自发光、不需要背光源、厚度薄、对比度高、反应速度快、视角广以及可应用于挠曲性面板等优点，应用前景十分广阔。有机发光二极管的发光结构包括阴极、阳极以及位于阴极和阳极之间的发光层，发光层的制作方法通常为真空掩模蒸镀工艺。

真空掩模蒸镀工艺过程中应用掩模板装置进行掩模，掩模板装置一般包括框架(frame)和金属掩模(mask)，金属掩模上布有数量很多的像素孔以及若干特征孔，特征孔也可称为定位标记，用于在张网过程中辅助对位。金属掩模经过张网和焊接固定在框架中，张网过程中，特征孔的位置通过测量系统实现测量，由于特征孔的种类不同，现有的测量系统的测量准确度较低，导致金属掩模与框架的对准精度较差。

发明内容

本发明提供一种掩模对准装置和掩模对准方法，以提高掩模中的定位标记的测量准确度，从而提高掩模与框架的对准精度。

本发明实施例提出一种掩模对准装置，该掩模对准装置包括：探测单元、照明单元和工件台单元；所述照明单元包括背光光源、同轴光源和环形光源；

所述背光光源位于所述工件台单元背离所述探测单元的一侧；所述工件台单元背离所述背光光源的一侧表面用于承载待对位掩模；所述同轴光源的光轴、所述环形光源的光轴以及所述探测单元的中心轴均同轴设置，且所述同轴光源、所述环形光源和所述探测单元均位于所述工件台单元的同一侧；

所述待对位掩模包括定位标记，所述定位标记包括通孔和/或凹槽；

所述背光光源用于在定位所述通孔时提供照明，所述同轴光源和所述环形光源用于在定位所述凹槽时提供照明。

进一步地，该掩模对准装置还包括控制单元和预判单元，所述预判单元、所述背光光源、所述同轴光源和所述环形光源分别与所述控制单元电连接；

所述预判单元用于辨别所述定位标记为所述通孔或所述凹槽；

所述控制单元用于在所述定位标记为所述通孔时，控制所述背光光源提供照明；或者在所述定位标记为所述凹槽时，控制所述同轴光源和所述环形光源提供照明。

进一步地，所述预判单元包括辅助定位单元；所述辅助定位单元中包括每个所述定位标记的参考坐标；

所述参考坐标用于确定所述定位标记为所述通孔或所述凹槽。

进一步地，该掩模对准装置还包括支撑框架；

所述工件台单元、所述探测单元以及所述背光光源分别与所述支撑框架固定连接；所述支撑框架用于带动所述探测单元和所述照明单元运动，以使所述待对位掩模中的所述定位标记移动至所述探测单元的视场内；

所述同轴光源和所述环形光源均与所述探测单元固定连接，且所述环形光源位于所述探测单元靠近所述工件台单元的一端。