[发明专利]一种光学系统装调策略验证系统

权利要求书

1.一种光学系统装调策略验证系统，其特征在于，包括光源装置、用于模拟光学系统的第一光学元件、位移装置、促动装置、成像装置和数据处理装置，所述光源装置、所述第一光学元件和所述成像装置分别设置在所述位移装置上，所述位移装置用于分别控制所述光源装置、所述第一光学元件和所述成像装置的位置，并用于通过改变所述第一光学元件的位置而模拟光学系统引入位置误差；

所述促动装置用于向所述第一光学元件施加力矩以模拟光学系统引入面形误差，所述成像装置用于接收所述光源装置发出的通过所述第一光学元件后的光并形成像，所述数据处理装置用于根据所成像中像点与理想像点之间的位置关系以及所述第一光学元件引入的位置误差或者面形误差，验证针对所述光学系统制定的装调策略；

所述促动装置包括若干促动部，所述促动部用于与所述第一光学元件的过渡部连接以向所述第一光学元件施加力矩，所述促动装置还包括与所述促动部连接的驱动电机，所述驱动电机用于输出位移，所述促动部还用于将所述驱动电机输出的位移转化为力矩而施加到所述第一光学元件上，所述促动部为条形片状，一端设置有用于与所述第一光学元件的过渡部连接的通孔，另一端设置有用于与所述驱动电机连接的通孔，所述促动部上用于连接驱动电机的通孔设置在延伸到所述促动部中空区域的部分上；

所述促动装置还包括用于固定所述第一光学元件的若干连接部，所述连接部用于与所述第一光学元件的过渡部活动连接以使得通过所述促动部将施加力矩作用于所述第一光学元件。

2.根据权利要求1所述的光学系统装调策略验证系统，其特征在于，包括多个所述光源装置，所述数据处理装置具体用于根据所成像中各个像点与对应理想像点之间的位置关系以及所述第一光学元件引入的位置误差或者面形误差，验证针对所述光学系统制定的装调策略。

3.根据权利要求1所述的光学系统装调策略验证系统，其特征在于，还包括用于测量所述光源装置发出光通过所述第一光学元件后的波前误差的探测装置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的光学系统装调策略验证系统，其特征在于，还包括第二光学元件，所述第一光学元件用于模拟光学系统的主镜，所述第二光学元件用于模拟光学系统的次镜；

所述第二光学元件设置在所述位移装置上，所述位移装置还用于控制所述第二光学元件的位置，并用于通过改变所述第一光学元件的位置或者所述第二光学元件的位置而模拟光学系统引入位置误差；

所述成像装置用于接收所述光源装置发出的通过所述第一光学元件、所述第二光学元件后的光并形成像，所述数据处理装置具体用于根据所成像中像点与理想像点之间的位置关系、所述第一光学元件引入的位置误差或者面形误差以及所述第二光学元件引入的位置误差，验证针对所述光学系统制定的装调策略。

5.根据权利要求4所述的光学系统装调策略验证系统，其特征在于，所述第一光学元件为透射元件，所述第二光学元件为透射元件。