[发明专利]一种可在线观测的真空检漏仪

说明书

本发明公开了一种可在线观测的真空检漏仪，包括：机体、样品座部件、抽真空装置、检测机构和同轴光调节器；样品座部件设于所述机体顶部；抽真空装置设于所述机体内侧；检测机构设于机体顶部；同轴光调节器设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。本发明可在线观测样品杆/样品在真空中是否有泄漏、破损等缺陷，进行预抽真空，实现事先防止异常样品杆/样品进入电镜中，避免污染电镜环境。

技术领域

本发明属于透射电子显微镜真空配件领域，尤其涉及一种可在线观测的真空检漏仪。

背景技术

透射电子显微镜作为一种显微观察设备，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像，观察各种试样凹凸不平表面的细微结构的优点。其样品载体样品杆搭配原位检测芯片，可以使分辨率达到原子级。研究学者可以通过原位技术捕获样品对环境的动态感应，包括尺寸、形貌、晶体结构变化等重要信息。

然而透射电子显微镜是使用时对样品杆要求极高，要求样品台和原位检测芯片具有很高的清洁度，无破损泄漏、无潮气、无粉尘等附着物。若检测存在污染、破损等，不仅影响透射电子显微镜的检测环境造成破坏，严重影响的寿命，还影响观察的效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可在线观测的真空检漏仪，其具有抽真空速度快，精准观测样品，能够配合透射电镜样品杆检测，减少样品杆对透射电子显微镜的污染，提高对观察精度等优点。

为实现上述目的，本发明提供了一种可在线观测的真空检漏仪，该在线观测的真空检漏仪包括：

机体，所述机体两侧设有散热孔，用于将机体内侧的热量及时排出，提高使用寿命，所述机体底部设有滑轮，方便移动设备，所述机体顶部设有控制面板用于控制设备的运行；

样品座部件，设于所述机体顶部，用于盛放透射电子显微镜样品杆；

抽真空装置；设于所述机体内侧，且与所述样品座部件连接，用于对所述子样品座部件进行抽真空；

检测机构，设于机体顶部，用于对样品座部件内侧的样品杆检测拍摄检测，及

同轴光调节器，设于检测机构左侧，用于调节所述检测机构拍摄时光线的明亮度。

在其中一个实施例中，所述样品座部件包括插管和插杆座组件；所述插管与所插杆座组件固定连接。

在其中一个实施例中，所述插杆座组件包括插座、第一透光元件、第二透光元件、第一端头盖和第二端头盖；所述第一透光元件与所述插座之间通过第一端头盖固定连接，所述第二透光元件与所述插座之间通过第二端头盖固定连接。

在其中一个实施例中，所述第二透光元件的一面上设有磨砂面，用于增强底灯的漫反射。

在其中一个实施例中，所述支撑架上设有减震机构，所述减震机构为环形减震垫。

在其中一个实施例中，所述显微镜镜头元件采用高低倍显微镜，其放大倍数范围为50-800倍；所述的高低倍显微镜同轴光可调节。

在其中一个实施例中，所述检测机构包括显微镜镜头元件、拍摄元件、调整机构和显示器；所述调整机构一端固定连接显示器，另一端连接显微镜镜头元件；所述显微镜镜头元件与拍摄元件同轴设置。

在其中一个实施例中，所述调整机构包括镜筒固定台、显微镜升降台、前后移动部件、左右移动部件以及螺丝调节把手；所述左右移动部件固定设于显微镜升降台上，所述前后移动部件与左右移动部件滑动连接；所述镜筒固定台设于前后移动部件上；所述螺丝调节把手设有两个，一个连接前后移动部件，另一个连接左右移动部件。

在其中一个实施例中，所述抽真空装置包括支撑架、分子泵、真空计和三通；所述分子泵设于支撑架上方；所述三通设于分子泵的进气端；所述真空计固定安装在三通上。