[发明专利]一种基于电沉积法制备大面积钒酸铋薄膜的方法有效
申请号: | 201910939662.8 | 申请日: | 2019-09-30 |
公开(公告)号: | CN110656364B | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 朱宏伟;黄美榕 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | C25D9/04 | 分类号: | C25D9/04;C25B1/04;C25B1/55;C25B11/077;C25B11/087 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 邸更岩 |
地址: | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 沉积 法制 大面积 钒酸铋 薄膜 方法 | ||
1.一种基于电沉积法制备大面积钒酸铋薄膜的方法,其特征在于该方法包括如下步骤:
1)将工作电极导电一侧和对电极面对面摆放并置于电沉积液中,调节工作电极与对电极之间的距离和角度,使对电极和工作电极的底端间距D为1cm,工作电极相对于对电极的倾斜角度θ为14~32°;采用恒电压沉积,在工作电极上沉积出一层钒酸铋的前驱体薄膜;所述恒电压沉积的电压为-0.23~-0.27V,时间为100~1000s;
2)将0.4~0.8M乙酰丙酮氧化钒溶于二甲基亚砜溶剂中作为钒源溶液;
3)在前驱体薄膜上添加钒源溶液,并将前驱体薄膜架空在玻璃培养皿上方,在前驱体薄膜上添加钒源溶液的方法采用滴涂法、旋涂法、喷涂法、浸泡法或提拉法;随后将其置于加热装置上进行热扩散和溶剂蒸发,加热温度为100~180℃,加热时间为7~20min;
4)去除多余的溶液后,再将该工作电极直接放在加热装置上,进一步蒸发和干燥;将该薄膜在马弗炉中400~500℃退火,然后在0.1~1M氢氧化钠溶液中清洗,即获得大面积的钒酸铋薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤1)中所述对电极的尺寸大于等于工作电极的尺寸。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述的电沉积液采用如下方法制备:
将7.5mM硝酸铋和0.4M碘化钠溶于pH=1.2的硝酸溶液中制成A溶液,将0.3M对苯醌溶于无水乙醇中制成B溶液;其中,A溶液和B溶液的体积比为20:9,将A溶液和B溶液混合后搅拌1~2h作为电沉积液。
4.根据权利要求1-3任一权利要求所述的方法,其特征在于,步骤3)和4)中所述加热装置选用热板、烘箱或马弗炉。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学,未经清华大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910939662.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种半导体电镀设备
- 下一篇:一种纳米有序结构锶掺杂钙磷化合物膜层的制备方法