[发明专利]用于传感器的连接端子组件和传感器

说明书

本发明公开了一种用于传感器的连接端子组件和传感器，用于传感器的连接端子组件包括：连接端子和辅助端子，连接端子的一端连接在传感器的基板上；辅助端子设在连接端子的邻近基板的一侧，辅助端子被构造成在连接端子受挤压时发生弹性形变以对连接端子施加作用力。根据本发明实施例的用于传感器的连接端子组件，通过设置辅助端子，提高了连接端子的复原能力，可以使得连接端子与信号端子之间的接触更加紧密，从而可以使得连接端子与信号端子可以持续、良好地接触，避免了连接端子与信号端子之间出现接触不良的问题，减少了信号传递时的杂讯，提高了信号传递的稳定性。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，尤其是涉及一种用于传感器的连接端子组件和传感器。

背景技术

相关技术中，通常在蒸镀设备内设置传感器(例如crystal sensor，晶体传感器)，用于监测工艺蒸镀的实际厚度。传感器的电子信号是通过圆盘传送带(Carousel)上的信号(signal)端子进行传递的。其中，信号端子被固定在传感器的连接端子上。

然而，圆盘传送带旋转过程中，由于连接端子与信号端子接触摩擦，连接端子逐渐丧失自身的弹力，使得连接端子自身的复原能力变弱，并且连接端子本身也会出现一定程度的变形，从而连接端子和信号端子之间的接触会逐渐减少，使得连接端子与信号端子之间出现接触不良、连接中断的问题，导致信号传递时出现noise(杂讯)。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种用于传感器的连接端子组件，所述连接端子组件的复原能力强，提高了信号传递的稳定性。

本发明还提出一种具有上述连接端子组件的传感器。

根据本发明实施例的用于传感器的连接端子组件，包括：连接端子，所述连接端子的一端连接在传感器的基板上；辅助端子，所述辅助端子设在所述连接端子的邻近所述基板的一侧，所述辅助端子被构造成在所述连接端子受挤压时发生弹性形变以对所述连接端子施加作用力。

根据本发明实施例的用于传感器的连接端子组件，通过设置辅助端子，提高了连接端子的复原能力，可以使得连接端子与信号端子之间的接触更加紧密，从而可以使得连接端子与信号端子可以持续、良好地接触，避免了连接端子与信号端子之间出现接触不良的问题，减少了信号传递时的杂讯，提高了信号传递的稳定性。

根据本发明的一些实施例，所述辅助端子包括第一辅助段和第二辅助段，所述第二辅助段与所述第一辅助段相连，且所述第二辅助段位于所述第一辅助段的邻近所述连接端子的一侧，在所述连接端子受挤压时，所述第二辅助段的外周面的至少一部分与所述连接端子的内周面止抵。

在本发明的一些实施例中，所述第一辅助段形成为朝向所述基板凸出的弧形段。

在本发明的一些实施例中，所述第二辅助段形成为朝向所述连接端子凸出的弧形段。

在本发明的一些实施例中，所述连接端子的自由端与所述第一辅助段相连。

在本发明的一些实施例中，所述辅助端子与所述连接端子一体成型。

根据本发明的另一些实施例，在所述连接端子受压时，所述连接端子的自由端与所述辅助端子的外周面止抵。

在本发明的一些实施例中，在所述连接端子未受压时，所述连接端子的自由端与所述辅助端子的外周面间隔开。

在本发明的一些实施例中，所述辅助端子的一端连接在所述基板上，所述辅助端子的另一端与所述基板间隔开。

在本发明的一些实施例中，所述辅助端子形成为弧形。

根据本发明第二方面实施例的传感器，包括根据本发明上述第一方面实施例的连接端子组件。