[发明专利]一种原子力显微镜探针针尖的修锐方法

权利要求书

1.一种原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，包括：

将配制好的溶液滴在原子力显微镜工作台上的载玻片上，以在所述载玻片上形成液滴；所述配制好的溶液的溶质为金刚石粉末；

用所述配制好的溶液浸润待磨探针针尖；

将原子力显微镜工作模式设置为液下轻敲模式，控制待磨探针逼近载玻片表面直至待磨探针悬臂梁完全浸没于所述载玻片表面上的液滴中；

设置探针振动参数、探针扫描参数以及修锐时间，开始待磨探针针尖修锐；

评定修锐后的探针针尖，完成修锐。

2.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，所述配制好的溶液的溶质为直径15nm～25nm的金刚石粉末，所述配制好的溶液的溶剂为去离子水，所述配制好的溶液的浓度为0.5vol.conc％。

3.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，所述将配制好的溶液滴在原子力显微镜工作台上的载玻片上，以在所述载玻片上形成液滴，具体包括：

先将载玻片作为样品放置于原子力显微镜工作台上，然后用玻璃棒将配制好的溶液搅拌均匀，接着采用注射器将搅拌均匀的溶液滴于所述载玻片的中心处，滴入的溶液量为1mL～2mL 。

4.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，所述用所述配制好的溶液浸润待磨探针针尖，具体包括：

首先将待磨探针安装在液下探针夹上，然后用注射器将配制好的溶液滴于待磨探针针尖处，滴入的溶液量为1mL ～2mL ，接着将安装有待磨探针的液下探针夹安装于原子力显微镜扫描头上。

5.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，所述设置探针振动参数、探针扫描参数以及修锐时间，开始待磨探针针尖修锐，具体包括：

首先设置探针振动参数和修锐时间，然后设置探针扫描参数，并通过Z向移动原子力显微镜工作台，调整待磨探针针尖与载玻片表面距离，使得原子力显微镜engage指令发出后，待磨探针针尖与载玻片表面距离大于200nm，接着将扫描范围设置为0，待磨探针处于自激震荡状态，开始待磨探针针尖修锐。

6.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，探针的振动频率为12KHz，探针的振幅为100nm。

7.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，探针的修锐时间为5min。

8.根据权利要求1所述的原子力显微镜探针针尖的修锐方法，其特征在于，所述评定修锐后的探针针尖，具体包括：

采用扫描电子显微镜对待磨探针针尖和修锐完成后的探针针尖进行图像采集，得到第一图像和第二图像；所述第一图像为待磨探针针尖图像，所述第二图像为修锐完成后的探针针尖图像；

对比所述第一图像和所述第二图像，若所述第二图像中探针针尖钝圆半径小于所述第一图像中探针针尖钝圆半径，则评定探针针尖修锐有效。