[发明专利]一种堆叠夹具

说明书

本发明提供一种堆叠夹具，包括夹具本体，所述夹具本体内设有叠放半导体激光器bar条和陪条的凹槽，所述凹槽包括支撑半导体激光器bar条和陪条的支撑面，所述支撑面沿凹槽的长度方向倾斜，堆叠夹具还包括在竖直方向上压紧堆叠后的半导体激光器bar条和陪条的压紧组件。本发明提供的堆叠夹具采用夹具内倾斜放置及固定bar条的方式，能使bar条平稳堆叠在一起，保证bar条两端在夹具内露出的发光腔面距离一致，极大的减小bar条在自由落体状态下出现翻转的可能性，且通过固定bar条落下的位置，使bar条堆叠稳定，减小了bar条因位置差异造成的散条现象，利用本发明提供的堆叠夹具极大增加了夹条镀膜工序的良率，减小该工序的生产成本。

技术领域

本发明涉及半导体激光器bar条镀膜用的夹具领域，尤其涉及一种堆叠夹具。

背景技术

发光腔面镀膜是半导体激光器重要的工艺制作环节，传统工艺方法是将解理后的激光器bar条叠放在一个夹具中，露出两端的发光腔面，再将夹具放入镀膜设备中进行镀膜。由于激光器芯片尺寸小(150～300um)，且出光腔面露出范围精度要求极高(一般为10～50um)，所以对bar条堆叠后的形态要求极高，需要保证每一根bar条露出距离基本一致。常用的bar条堆叠夹具，采用吸嘴吸取bar条，从夹具口垂直自由落体进入夹具内，此方式在自由落体过程中容易发生bar条翻转，并且落下后无法控制每个bar条发光腔面露出的距离，这样会造成镀膜后一端膜溢出，或另一端没有镀膜的后果，不良的随机性太强。目前对bar条堆叠夹具的研究及改进较少，一旦堆叠位置不佳，会引起大量bar条镀膜外观及性能上的损失，影响成品率及芯片可靠性。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术之缺陷，提供了一种堆叠夹具，以保证bar条在夹具内两端露出的发光腔面距离一致。

本发明是这样实现的：

本发明提供一种堆叠夹具，包括夹具本体，所述夹具本体内设有叠放半导体激光器bar条和陪条的凹槽，所述凹槽包括支撑半导体激光器bar条和陪条的支撑面，所述支撑面沿凹槽的长度方向倾斜，堆叠夹具还包括在竖直方向上压紧堆叠后的半导体激光器bar条和陪条的压紧组件。

作为优选，所述压紧组件包括位于凹槽内上端的上压板和调节上压板下压程度的调节组件。

作为优选，所述调节组件包括若干第一弹簧和调节第一弹簧压缩程度的若干第一力矩螺栓，所述第一弹簧和第一力矩螺栓一一对应相连，各所述第一弹簧抵接上压板。

作为优选，所述支撑面上设有支撑半导体激光器bar条和陪条的下压板，所述下压板和支撑面间设有若干支撑下压板的第一弹性件。

作为优选，所述第一弹性件为第二弹簧。

作为优选，所述凹槽内设有抵接陪条防止陪条沿支撑面的倾斜方向进一步滑动的第一抵接面，所述凹槽内还设有抵接半导体激光器bar条防止半导体激光器bar条沿支撑面的倾斜方向进一步向第一抵接面滑动的第二抵接面，其中，所述第二抵接面上设有供陪条贯穿的开孔。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的堆叠夹具采用夹具内倾斜放置及固定bar条的方式，能使bar条平稳堆叠在一起，保证bar条两端在夹具内露出的发光腔面距离一致，极大的减小bar条在自由落体状态下出现翻转的可能性，且通过固定bar条落下的位置，使bar条堆叠稳定，减小了bar条因位置差异造成的散条现象，利用本发明提供的堆叠夹具极大增加了夹条镀膜工序的良率，减小该工序的生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为本发明实施例提供的堆叠夹具的示意图；