[发明专利]一种等离子气体用的传输装置

说明书

本发明涉及了气体传输技术领域，公开了一种等离子气体用的传输装置，包括：传输管道，所述传输管道的进口端和出口端分别与第一设备和第二设备连通，以将所述等离子气体从所述第一设备传输到所述第二设备中。气体加热器件，所述气体加热器件设于所述传输管道的内部，以对所述传输管道内流动的所述等离子气体进行加热。控制模块，所述控制模块设于所述传输管道外部，所述控制模块与所述气体加热器件电性连接，以对所述气体加热器件进行控制。电源，所述电源与所述控制模块电性连接，以对所述控制模块提供电能。本发明一种等离子气体用的传输装置，能够抑制等离子气体在传输管道中沉积粉末，从而延长传输管道的维护周期。

技术领域

本发明涉及了气体传输技术领域，具体的是一种等离子气体用的传输装置。

背景技术

等离子气体一般是通过电能或者动能来提供能量，使原子核外电子脱离原子核的束缚，从而形成的部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。在半导体刻蚀工业需要用到等离子气体。半导体刻蚀工业使用等离子气体时，需要将等离子气体由气体发生装置传递到刻蚀装置。由于等离子气体中含有电子、正负离子和中性粒子等。在对等离子气体进行传输时，当温度较低时，等离子气体很容易在传输装置中发生粉末沉积，从而影响刻蚀工艺的精确性和传输管道的使用性能。通过研究发现，对等离子气体进行加热使其具有一定的温度，可以避免等离子气体在传输过程中在传输管道的内壁发生沉积。如果从传输装置的外部对等离子气体进行加热，则加热效果较差，并且耗费能量。研究发现，将加热装置设置于传输管道的内部，从内部对等离子气体进行加热，能够使等离子气体快速升温，方便作业并且节约能量。

发明内容

为了克服现有技术中的缺陷，本发明实施例提供了提供了一种等离子气体用的传输装置，其能够抑制等离子气体在传输管道中的粉末沉积现象，从而延长传输管道的维护周期。

本发明公开了一种等离子气体用的传输装置，包括：

传输管道，所述传输管道的进口端和出口端分别与第一设备和第二设备连通，以将所述等离子气体从所述第一设备传输到所述第二设备中；

气体加热器件，所述气体加热器件设于所述传输管道的内部，以对所述传输管道内流动的所述等离子气体进行加热；

控制模块，所述控制模块设于所述传输管道外部，所述控制模块与所述气体加热器件电性连接，以对所述气体加热器件进行控制；

电源，所述电源与所述控制模块电性连接，以对所述控制模块提供电能。

优选地，所述第一设备为气体发生设备，所述第二设备为半导体刻蚀设备。

优选地，所述第一设备上设有第一安装接口，以安装所述传输管道的所述进口端；所述第二设备上设有第二安装接口，以安装所述传输管道的所述出口端。

优选地，所述控制模块为PID控制模块或PD控制模块。

进一步优选地，所述控制模块为PID控制模块。

优选地，所述控制模块与所述第一设备电性连接。

进一步优选地，所述控制模块与所述第一设备的控制装置电性连接。

本发明的有益效果如下：

本发明等离子气体用的传输装置通过设置了气体加热器件，气体加热器件能够对传输管道中流动的等离子气体进行加热，使等离子气体达到一定的温度，从而抑制等离子气体在传输管道的内壁发生粉末沉积，延长传输管道的维护周期，更加方便生产作业。

本发明等离子气体用的传输装置通过在传输管道内部设置气体加热器件，内置的气体加热器件能够直接作用于传输管道中流动的等离子气体，直接对传输管道中流动的等离子气体进行加热，使等离子气体迅速达到一定的温度，提高了加热装置对等离子气体的加热速度，并且相对于从传输管道外部加热更加节约能量。