[发明专利]一种大尺寸晶体生长单晶炉在审
| 申请号： | 201910944068.8 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110512275A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 高佑君;柴晓磊;樊海强 | 申请（专利权）人： | 山西中科晶电信息材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/42;C30B29/40 |
| 代理公司： | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 申绍中<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 043604 山西省运城*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 加热器 放肩 引晶 底部加热器 晶体生长 温度梯度 石英管 加热 半导体制备装置 大尺寸晶体生长 玻璃棒 侧壁加热器 螺旋加热器 尺寸晶体 独立运作 控制晶体 温度调整 单晶炉 内锥形 热辐射 热流失 热散失 微调整 坩埚炉 圆锥 长体 炉芯 微凸 液面 坩埚 外围 | ||
1.一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：包括PBN坩埚（1）、石英管（2）、加热器，所述加热器包括底部加热器（3）和侧壁加热器（4）；所述PBN坩埚（1）设置在石英管（2）内，所述石英管（2）上部设置有石英帽（5），石英管（2）放置在炉芯（6）上，所述石英管（2）与炉芯（6）之间设置有底部加热器（3），炉芯（6）在石英管（2）石英嘴相应位置开设有架设孔，架设孔下部设置有玻璃棒（7）；所述PBN坩埚（1）与石英管（2）设置在保温装置（8）内，所述保温装置（8）为下部开口的中空筒状结构，所述保温装置（8）内壁镶嵌有侧壁加热器（4）。
2.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：所述底部加热器（3）和侧壁加热器（4）分别独立加热。
3.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：所述底部加热器（3）包括保温套（31）与螺旋加热器（32），所述保温套（31）为顶部与底部开口的倒圆台形状，所述螺旋加热器（32）螺旋缠绕在保温套（31）外部。
4.根据权利要求3所述的一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：所述保温套（3）采用刚玉材料。
5.根据权利要求3所述的一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：所述保温套（31）母线与中心轴夹角与石英管（2）锥角相适应。
6.根据权利要求3所述的一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：所述保温套（31）底面内直径大于石英管（2）籽晶区直径，保温套（31）底面外直径大于架设孔直径；保温套（31）顶面内直径大于石英管（2）管体直径，保温套（31）顶面外直径小于保温装置（8）内径。
7.根据权利要求1所述的一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：所述侧壁加热器（4）自上而下设置为4-10组。
8.根据权利要求7所述的一种大尺寸晶体生长单晶炉，其特征在于：所述侧壁加热器（4）分别独立运作。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山西中科晶电信息材料有限公司，未经山西中科晶电信息材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910944068.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
