[发明专利]离子束加工设备

权利要求书

1.一种离子束加工设备，其特征在于，其包括真空舱室，所述真空舱室内设有若干机械臂、若干法拉第杯扫描装置和若干定位基准校正装置；每个所述机械臂一端连接有自身对应的机械臂升降装置，另一端连接有相应离子源；各个所述机械臂可以相对独立工作，也可以共同协同工作以实现比单个离子源口径更大的光学元件的加工；所述法拉第杯扫描装置用于对所述离子源的状态进行监测；所述定位基准校正装置用于确定光学元件在空间中的精确位置。

2.如权利要求1所述的离子束加工设备，其特征在于，若干所述机械臂相对于镜面下按圆周等距分布，若干所述机械臂最大圆形工作区间能够覆盖被加工的所述光学元件；各个所述机械臂在所述光学元件口径外还分别存在工作空间。

3.如权利要求2所述的离子束加工设备，其特征在于，多个所述工作空间内均设有所述法拉第杯扫描装置和所述定位基准校正装置。

4.如权利要求2所述的离子束加工设备，其特征在于，所述工作空间为月牙形工作空间。

5.如权利要求4所述的离子束加工设备，其特征在于，所述机械臂、所述月牙形工作空间、所述法拉第杯扫描装置及所述定位基准校正装置的数量均为3个。

6.如权利要求1所述的离子束加工设备，其特征在于，其还包括用于支撑所述光学元件的光学元件支撑装置。

7.如权利要求1所述的离子束加工设备，其特征在于，所述机械臂升降装置设置在所述真空舱室的底部。

8.如权利要求1所述的离子束加工设备，其特征在于，所述机械臂为具有五个转动自由度的真空机械臂。

9.如权利要求1-8任一所述的离子束加工设备，其特征在于，所述光学元件为单片直径为2-4m的光学元件。

10.如权利要求1-8任一所述的离子束加工设备，其特征在于，其还包括控制装置，所述控制装置分别与所述离子源、所述机械臂、所述机械臂升降装置、所述法拉第杯扫描装置和所述定位基准校正装置连接；所述控制装置用于控制所述离子源、所述机械臂和所述机械臂升降装置工作；所述控制装置还用于接收所述法拉第杯扫描装置和所述定位基准校正装置的信号。