[发明专利]一种蓝宝石晶片退火工艺在审
| 申请号： | 201910946943.6 | 申请日： | 2019-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN110846720A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 丁云海;卢东阳;余胜军;张京伟 | 申请（专利权）人： | 淮安澳洋顺昌集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶片 退火 工艺 | ||
【权利要求书】：
1.一种蓝宝石晶片退火工艺，其特征在于，步骤如下：
(1)清洗：对研磨加工清洗干净后蓝宝石晶片使用超声波进一步清洗，清洗去除蓝宝石晶片表面的灰尘和杂质，减少由于高温产生白点和亮点缺陷；
(2)退火处理：将清洗后的蓝宝石晶片叠片后放置于坩埚中，进行后面的多级退火处理；多级退火处理如下：第一步，退火炉升温，由室温升温至1000℃，梯度2.5-3℃/min，并恒温30-60min；第二步，升温至1450℃，梯度2.5-3℃/min，恒温8-12h；第三步，缓慢降温至1200℃，降温梯度1.5-2℃/min，并恒温2-3h；第四步，继续降温至600℃，降温梯度1.5-2℃/min，并继续恒温2-3h；退火炉停止工作，将晶片自然降温至室温；
(3)将退火出炉后的蓝宝石晶片使用分选机台进行检测，对比退火前的warp值，比退火前下降1-2um。
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