[发明专利]一种无机质谱仪

权利要求书

1.一种无机质谱仪，其特征在于，所述无机质谱仪包括：

多电荷态离子源，用于产生3+或3+以上不同价电荷态的强流离子束流；所述强流离子束流包括：常量粒子束流、微量粒子束流、痕量粒子束流和超痕量粒子束流，所述超痕量粒子束流包括超痕量同位素和超痕量本底；

前端分析系统，与所述多电荷态离子源连接，用于筛选所述常量粒子束流、所述微量粒子束流和所述痕量粒子束流，并吸收、测量所述常量粒子束流、所述微量粒子束流和所述痕量粒子束流，输出所述超痕量粒子束流；

后端分析系统，与所述前端分析系统连接，用于排除所述超痕量粒子束流中的所述超痕量本底；

离子探测器，与所述后端分析系统连接，用于接收所述超痕量同位素，并对所述超痕量同位素进行测量。

2.根据权利要求1所述的无机质谱仪，其特征在于，所述多电荷态离子源为回旋共振型离子源，对于从H到Pu的所有元素、锕系元素和超锕系所有元素均能够产生3+或3+以上不同价电荷态的强流离子束流。

3.根据权利要求1所述的无机质谱仪，其特征在于，所述前端分析系统包括：

加速段，与所述多电荷态离子源连接，用于对所述强流离子束流进行加速；

前端分析器，分别与所述加速段和所述后端分析系统连接，用于使所述常量粒子束流、所述微量粒子束流和所述痕量粒子束流与所述超痕量粒子束流分离，并将所述超痕量粒子束流传输至所述后端分析系统；

离子接收器，设置于所述前端分析器的输出端，用于吸收并测量所述常量粒子束流、所述微量粒子束流和所述痕量粒子束流。

4.根据权利要求3所述的无机质谱仪，其特征在于，所述加速段为强流单级静电加速管，所述加速管的束流强度范围为0.1μA-5000μA，所述加速管的工作电压为10kV-400kV。

5.根据权利要求3所述的无机质谱仪，其特征在于，所述前端分析器为磁分析器、静电分析器、四级杆分析器或飞行时间分析器中的任一种或任意两种的组合。

6.根据权利要求3所述的无机质谱仪，其特征在于，所述离子接收器为一组法拉第杯。

7.根据权利要求1所述的无机质谱仪，其特征在于，所述后端分析系统包括：第一静电分析器、能量吸收膜、磁分析器和第二静电分析器，所述第一静电分析器的输入端与所述前端分析装置的输出端连接，所述能量吸收膜固定于所述第一静电分析器的输出端与所述磁分析器的输入端之间；所述磁分析器的输出端与所述第二静电分析器的输入端连接，所述第二静电分析器的输出端与所述离子探测器连接。

8.根据权利要求1所述的无机质谱仪，其特征在于，所述后端分析系统包括：静电分析器、能量吸收膜和速度选择器；所述静电分析器的输入端与所述前端分析系统的输出端连接，所述能量吸收膜固定于所述静电分析器的输出端与所述速度选择器的输入端之间；所述速度选择器的输出端与所述离子探测器连接。

9.根据权利要求1所述的无机质谱仪，其特征在于，所述离子探测器为固体探测器或气体探测器。