[发明专利]圆环状的玻璃坯板及制造方法、圆环状的玻璃基板的制造方法和磁盘用玻璃基板的制造方法有效
申请号: | 201910948533.5 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN110751961B | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 东修平 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | G11B5/84 | 分类号: | G11B5/84;G11B5/73;B28D1/24;C03B33/04;C03B33/027;C03B33/09 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 庞东成;孟伟青 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 圆环 玻璃 制造 方法 磁盘 | ||
提供圆环状的玻璃坯板及制造方法、圆环状的玻璃基板的制造方法和磁盘用玻璃基板的制造方法,由板状玻璃坯板形成圆环状玻璃坯板的处理中,对于板状玻璃坯板主表面,使第一圆形刀片沿着主表面以第一旋转半径旋转而形成外侧切口,使第二圆形刀片沿着主表面以短于第一旋转半径的第二旋转半径旋转而形成内侧切口。在第一圆形刀片刀口上,在圆周方向隔开第一间隔设有两个以上第一缺口,在第二圆形刀片刀口上,在圆周方向隔开第二间隔设有两个以上第二缺口。第一间隔小于第二间隔。圆环状玻璃坯板内周端面与外周端面的同心度为15μm以下。圆环状玻璃坯板的第一主表面的外周形状的正圆度与第一主表面的相反侧的第二主表面的外周形状的正圆度之差为100μm以下。
本申请是分案申请,其原申请的中国国家申请号为201680067880.1,申请日为2016年12月28日,发明名称为“圆环状的玻璃坯板及制造方法、圆环状的玻璃基板的制造方法和磁盘用玻璃基板的制造方法”。
技术领域
本发明涉及圆环状的玻璃坯板、圆环状的玻璃坯板的制造方法、圆环状的玻璃基板的制造方法和磁盘用玻璃基板的制造方法。
背景技术
当前,在个人计算机、DVD(Digital Versatile Disc,数字多功能光盘)记录装置等中,为了进行数据记录而内置有硬盘装置(HDD:Hard Disk Drive,硬盘驱动器)。在硬盘装置中使用在基板上设有磁性层的磁盘,利用略悬浮于磁盘表面上的磁头来在磁性层记录或读取磁记录信息。作为该磁盘的基板,适合使用与金属基板(铝基板)等相比具有难以发生塑性变形的性质的玻璃基板。
磁盘用玻璃基板通过由板状的玻璃坯板制作圆环状的玻璃坯板,并对圆环状的玻璃坯板进行磨削、研磨等机械加工来制作。例如已知:将利用浮法、下拉法等形成的板状的玻璃坯板切断加工成圆环状的方法;以及,利用一对模压成型模具将熔融玻璃的块模压成型,将圆板状的玻璃坯板切断加工成圆环状的方法。
例如已知下述方法:在玻璃板形成圆形的切口后,对玻璃板的切口的外侧区域进行加热,将切口的内侧区域冲切成圆形(参见专利文献1)。为了形成圆环状的玻璃坯板,在板状的玻璃坯板的一个主表面形成圆形的外形形成用的切口、和圆形的内孔形成用的切口。之后,使这些切口发展而将板状的玻璃坯板割断,由此形成圆环状的玻璃坯板。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利第2973354号公报
发明内容
发明所要解决的课题
为了制作圆环状的玻璃坯板,在板状的玻璃坯板的一个主表面形成圆形的外形形成用的切口(外侧切口)和圆形的内孔形成用的切口(内侧切口)时,一边将用于形成外侧切口的外侧刀轮和用于形成内侧切口的内侧刀轮挤压到板状的玻璃坯板的一个主表面,一边使两刀轮和板状的玻璃坯板相对地旋转移动。此时,存在外侧切口的正圆度变差、外侧切口与内侧切口的同心度降低的问题。若外侧切口与内侧切口的同心度低,为了确保所得到的磁盘用玻璃基板的外周形状与内孔的同心度,需要增大机械加工的加工余量,具有生产效率变差的问题。
另外,在使两刀轮和板状的玻璃坯板相对地旋转移动后,将板状的玻璃坯板的内侧切口的外侧部分加热时,由于热膨胀差而使内侧切口发展,到达与一个主表面(第一主表面)相反一侧的另一主表面(第二主表面)。之后,去除目标部分以外的玻璃,由此能够将圆环状的玻璃坯板从板状的玻璃坯板中取出。之后,对于圆环状的玻璃坯板的内周端部和外周端部,通过利用成形磨石等的磨削加工来实施倒角处理,由此形成在内周和外周分别具有倒角面和侧壁面的圆环状玻璃基板。
该情况下,例如,对线膨胀系数小的板状的玻璃坯板形成外侧切口和内侧切口时,在外侧切口和内侧切口观察到外侧切口和内侧切口各自从第一主表面向深度方向延伸的角度不同的现象。更具体而言,关于在板状的玻璃坯板的第一主表面上以圆形形成的外侧切口和内侧切口的在深度方向上延伸的方向(角度),观察到内侧切口的方向与外侧切口的方向相比向圆的中心侧方向倾斜的现象。
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