[发明专利]激振装置有效
| 申请号： | 201910949104.X | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN110530592B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 松本繁;宫下博至;村内一宏;远藤稔 | 申请（专利权）人： | 国际计测器株式会社 |
| 主分类号： | G01M7/06 | 分类号： | G01M7/06 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种激振装置，其特征在于，包括：
振动台；
X轴激振单元，其使所述振动台在X轴方向振动；
Y轴激振单元，其使所述振动台在Y轴方向振动；
Z轴激振单元，其使所述振动台在Z轴方向振动；和
多个XY滑动件，其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可在所述X轴方向和所述Y轴方向这两个方向上滑动的方式连结，
所述XY滑动件分别包括：
第一线性导轨，其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述X轴方向滑动的方式连结；和
第二线性导轨，其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述Y轴方向滑动的方式连结，
所述第一线性导轨包括：
第一轨道，其向所述X轴方向延伸；和
第一滑架，其以可在所述X轴方向滑动的方式与所述第一轨道卡合，
所述第二线性导轨包括：
第二轨道，其向所述Y轴方向延伸；和
第二滑架，其以可在所述Y轴方向滑动的方式与所述第二轨道卡合，
所述第一滑架和所述第二滑架固定在一起，
在相邻的两个XY滑动件中的一者，所述第一线性导轨配置于所述振动台侧，所述第二线性导轨配置于所述Z轴激振单元侧，
在所述相邻的两个XY滑动件中的另一者，所述第二线性导轨配置于所述振动台侧，所述第一线性导轨配置于所述Z轴激振单元侧。
2.如权利要求1所述的激振装置，其特征在于：
在所述相邻的两个XY滑动件中的一者，所述第二线性导轨经由所述第一线性导轨与所述振动台连结，
在所述相邻的两个XY滑动件中的另一者，所述第一线性导轨经由所述第二线性导轨与所述振动台连结。
3.一种激振装置，其特征在于，包括：
振动台；
X轴激振单元，其使所述振动台在X轴方向振动；
Y轴激振单元，其使所述振动台在Y轴方向振动；
Z轴激振单元，其使所述振动台在Z轴方向振动；和
多个XY滑动件，其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可在所述X轴方向和所述Y轴方向这两个方向上滑动的方式连结，
所述XY滑动件分别包括：
第一线性导轨，其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述X轴方向滑动的方式连结；和
第二线性导轨，其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述Y轴方向滑动的方式连结，
所述第一线性导轨包括：
第一轨道，其向所述X轴方向延伸；和
第一滑架，其以可在所述X轴方向滑动的方式与所述第一轨道卡合，
所述第二线性导轨包括：
第二轨道，其向所述Y轴方向延伸；和
第二滑架，其以可在所述Y轴方向滑动的方式与所述第二轨道卡合，
所述第一滑架和所述第二滑架固定在一起，
在相邻的两个XY滑动件中的一者，所述第一线性导轨与所述Z轴激振单元连结，所述第二线性导轨与所述振动台连结，
在所述相邻的两个XY滑动件中的另一者，所述第二线性导轨与所述Z轴激振单元连结，所述第一线性导轨与所述振动台连结。
4.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置，其特征在于：
所述多个XY滑动件配置在与所述Z轴方向垂直的平面上。
5.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置，其特征在于：
包括4个所述XY滑动件，其分别配置在与所述Z轴方向垂直的矩形的顶点。
6.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置，其特征在于：
所述XY滑动件以所述第一线性导轨朝向所述振动台侧的第一朝向和所述第二线性导轨朝向所述振动台侧的第二朝向中的任意朝向配置，
所述多个XY滑动件以交替地改变所述第一朝向和所述第二朝向的方式，在与所述Z轴方向垂直的两个方向上并排配置。
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