[发明专利]照明条件自动校正的方法、装置、设备和存储介质

权利要求书

1.一种照明条件自动校正的方法，其特征在于，包括：

检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件；

若所述校正记录文件缺失，则根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为所述校正记录文件；

其中，所述校正记录文件包括照明条件系统校正文件和曝光缝隙均匀度检测文件中的至少一种；所述照明条件校正包括照明条件系统校正和曝光缝隙均匀度检测中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为对应的所述校正记录文件的步骤包括：

当缺失的所述校正记录文件包括所述照明条件系统校正文件时，进行所述照明条件系统校正，再进行所述曝光缝隙均匀度检测，根据所述照明条件系统校正得到的结果更新所述照明条件设定，并将所述照明条件系统校正得到的结果存储为所述照明条件系统校正文件，将所述曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为所述曝光缝隙均匀度检测文件；

当缺失的所述校正记录文件仅为所述曝光缝隙均匀度检测文件时，进行所述曝光缝隙均匀度检测，将所述曝光缝隙均匀度检测得到的结果存储为所述曝光缝隙均匀度检测文件。

3.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为对应的所述校正记录文件的步骤之后，还包括：

在完成所述照明条件校正时，更新并保存所述照明条件设定对应的机器常数。

4.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之前，还包括：

获取所述曝光机台待曝光的产品、工艺步骤以及关联的所述照明条件设定；

所述检查曝光机台的服务器上存储的、与照明条件设定对应的校正记录文件的步骤之后，还包括：

在检查到所述服务器保存有所述照明条件设定对应的所有校正记录文件时，根据所述照明条件设定进行曝光处理。

5.根据权利要求4所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，所述根据缺失的所述校正记录文件，进行相应的照明条件校正，根据所述照明条件校正得到的结果更新对应的所述照明条件设定，并将所述照明条件校正得到的结果存储为所述校正记录文件的步骤包括：

检测所述照明条件校正得到的所述曝光缝隙均匀度检测文件是否满足预设标准：若是，则确定已完成所述照明条件校正；若否，则删除所述曝光缝隙均匀度检测文件以及所述曝光缝隙均匀度检测文件对应的照明条件系统校正文件，并重新进行所述照明条件校正。

6.根据权利要求1所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，还包括：

根据接收到的删除指令，从所述服务器中删除对应的所述校正记录文件，以重新进行相应的照明条件校正，得到新的校正记录文件。

7.根据权利要求1至6任一项所述的照明条件自动校正的方法，其特征在于，还包括：

提供自动校正功能的配置参数接口；所述配置参数包括是否自动进行照明条件系统校正文件检测，以及是否自动进行曝光缝隙均匀度检测文件检测；

通过所述配置参数接口接收配置指令。