[发明专利]太赫兹激光器

权利要求书

1.一种太赫兹激光器，其特征在于，包括：

处于第一轴线且按顺序布置的固定光栅、第一ZnSe增透窗片、TEA二氧化碳增益模块、第二ZnSe增透窗片、全反射金镜，且其中所述全反射金镜的镜面法线与所述第一轴线成45度角，所述第一ZnSe增透窗片和所述第二ZnSe增透窗片分别密封固定在TEA二氧化碳增益模块的两端，所述光栅与全反射金镜分别以一定距离固定在TEA二氧化碳增益模块的左右两侧；

处于第二轴线的石英晶体片、太赫兹激光增益区、曲率全反射金镜和二色片，其中石英晶体片与太赫兹激光增益区的右端密封连接，曲率全反射金镜与太赫兹激光增益区的左端密封连接，二色片位于太赫兹激光增益区的内部，位于所述第二轴线上，且与所述第二轴线成45度角，所述太赫兹激光增益区右端的上侧面与第三ZnSe增透窗片密封连接，且所述二色片位于所述第三ZnSe增透窗片的正下方，

其中所述全反射金镜的朝向使得将入射的二氧化碳激光反射向第三ZnSe增透窗片，且所述二色片的朝向使得将入射的二氧化碳激光反射向太赫兹激光增益区。

2.根据权利要求1所述的太赫兹激光器，其特征在于，所述二色片的中心与位于所述太赫兹激光增益区右端的石英晶体片所在平面的距离为40mm，且所述二色片的中心与位于所述太赫兹激光增益区右端的上侧面的第三ZnSe增透窗片所在平面的距离也是40mm。

3.根据权利要求1所述的太赫兹激光器，其特征在于，所述二色片对45度角入射的9-10.6微米的二氧化碳激光的反射率大于0.92，对45度角入射的太赫兹激光的透射率大于0.75。

4.根据权利要求1所述的太赫兹激光器，其特征在于，所述第三ZnSe增透窗片、石英晶体片、曲率全反射金镜和太赫兹激光增益区构成一个密封闭合的腔体。

5.根据权利要求1所述的太赫兹激光器，其特征在于，所述石英晶体片是所述太赫兹激光器的输出耦合腔镜，其对太赫兹激光的透射率在0.70-0.85之间。

6.根据权利要求1所述的太赫兹激光器，其特征在于，所述太赫兹激光增益区内填充有太赫兹增益气体，气体压强在20Pa-3500Pa之间。

7.根据权利要求6所述的太赫兹激光器，其特征在于，所述太赫兹增益气体为以下中的一个：D₂O、CH₃F、NH₃。