[发明专利]一种轮式水平轴陀螺栅条状耦合抑制结构

权利要求书

1.一种用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构，通过耦合抑制结构( 110) 与底部耦合抑制电极( 201,202) 间交叠产生的静电力，来平衡水平轴陀螺由于工艺误差造成的无输入角速率状态下的离面位移，其特征在于：用于耦合抑制的结构为栅条状耦合抑制结构(110) ，其中，包括多组栅条状耦合抑制结构( 110) ，多组所述栅条状耦合抑制结构( 110)两两一组关于几何中心呈对称分布；对于每组栅条状耦合抑制结构( 110) ，对应于两组栅条状耦合抑制电极( 201,202) ，且与栅条状耦合抑制结构( 110) 交叉分布，且每根栅条在底部衬底( 300) 上的正投影部分覆盖对应的一组耦合抑制电极( 201,202) 在所述底部衬底( 300) 上的正投影；

每组栅条状耦合抑制结构( 110) 包括多根栅条，且所述栅条状耦合抑制结构( 201,202) 的多根栅条呈扇形的分布。

2.如权利要求1所述的一种用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构，其特征在于：应用于轮式水平轴陀螺，所述轮式水平轴陀螺包括轮式单检测轴水平轴陀螺和轮式双检测轴水平轴陀螺，所述轮式水平轴陀螺包括轴对称分布的驱动梳齿( 101(a),101(b),101(c),101(d)) 、驱动检测梳齿( 102(a),102(b),102(c),102(d)) 、外框( 103) 、内框( 104) 、敏感质量块( 105) 、连接梁、底部检测电极及与底部固定连接的锚点( 1001,1002) 。

3.如权利要求1或权利要求2所述的一种用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构，其特征在于：陀螺的驱动状态为绕垂直于器件平面的轴进行角振动，当有水平方向的角速度输入时，敏感质量块( 105) 将发生面外运动。

4.如权利要求1所述的一种用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构，其特征在于：用于检测的敏感质量块( 105) 轴对称分布，所述敏感质量块( 105) 包括圆形结构。

5.如权利要求1所述的一种用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构，其特征在于：采用差分变间隙电容进行检测。

6.如权利要求1所述的一种用于轮式水平轴陀螺的耦合抑制结构，其特征在于：施加在耦合抑制电极( 201,202) 上的电压为直流电压。