[发明专利]液位感应装置

说明书

本申请公开了一种液位感应装置，主要应用于半导体制造业湿制程工艺中对液位的管控，包括：弹性体，所述弹性体内部设置有弹性通道，弹性通道设有输入口和输出口，输入口连接有刚性输入管，输出口连接有刚性输出管；在刚性输入管上设置有传感器；将弹性体放置在盛有液体的槽体内，随着弹性体在液体中深度发生变化，弹性体受到液体的压力变化发生形变从而使弹性通道发生形变而使横截面积发生变化，从而使介质流过弹性通道时的阻力发生变化，从而使传感器检测到的信号发生变化来达到检测液位的目的；本发明的方案通过液体本身的压力和弹性通道的特性完成液位感应，不受液体的粘度和结晶等因素影响，工作性能稳定可靠。

技术领域

本发明一般涉及半导体制造领域，具体涉及一种液位感应装置。

背景技术

在半导体制造业中，湿制程工艺会用到浸泡式槽体，会需要进行液位管控，但工艺要求不同，槽体内的药液也会不一样，其中部分药液有其特殊性，药液粘稠或者有结晶，浮球式传感器无法适应；使用普通氮气气压式传感器由于药液结晶会堵住气管、药液内有气泡时会产生误感应，且由于气管敞开可能使气体进入药液产生气泡，影响产品质量；普通的浮球和氮气管气压液位感应无法满足要求。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种液位感应装置。

第一方面，本发明涉及了一种液位感应装置，提供了一种能够准确可靠感应到液位变化的感应装置，包括弹性体，所述弹性体内部设置有弹性通道，所述弹性通道设有输入口和输出口，所述输入口连接有刚性输入管，所述输出口连接有刚性输出管。

进一步地，还包括第一刚性连接接头和第二刚性连接接头，所述第一刚性连接接头和所述第二刚性连接接头分置与所述弹性体长度方向上的两端；所述第一刚性连接接头和所述第二刚性连接接头均设置有第一输入接口及第一输出接口；所述第一刚性连接头的第一输入接口连接所述刚性输入管，所述第一刚性接头的第一输出接口连接所述弹性通道的输入口；所述第二刚性连接头的第一输入接口连接所述弹性管道的输出口，所述第二刚性连接头的第一输出接口连接所述刚性输出管。

优选地，所述第一刚性接头和所述第二刚性接头的横截面积大于或等于所述弹性通道的横截面积；所述输入管和输出管的横截面积大于或等于所述弹性通道的横截面积。

优选地，所述弹性体长度方向为刚性设置，所述弹性体周向为弹性设置，所述弹性通道自所述弹性体长度方向的一端延伸至另一端。

优选地，至少所述弹性通道内的中部设置有弹性支撑体，所述弹性支撑体允许所述弹性通道的流动介质通过。

优选地，所述弹性支撑体贯通所述弹性通道。

优选地，所述弹性通道为弯曲设置。

优选地，所述输入管、输出管和弹性件均为耐腐蚀性材料制成。

进一步地，所述耐腐蚀材质为选自聚乙烯、聚丙烯、聚酯。

进一步地，所述输入管上设有传感器。

根据本发明提供的技术方案，通过设置弹性体，所述弹性体内设置有弹性通道，弹性通道设有输入口和输口，输入口连接有输入管，输出口连接有输出管，在输入管上设置有传感器；将感应装置设置在盛有药液的槽体内，随着弹性体在药液的深度不同，弹性体受到的压力发生变化，从而使弹性通道受到的压力发生变化使弹性通道的腔体的横截面积变化，使通过弹性通道的液体或气体的阻力发生变化，进而使设置在输入管上的传感器检测到的信号发生变化来达到检测液位的目的；本发明的方案通过液体本身的压力和弹性通道的特性完成液位感应，不受药液的粘度、有无气泡和结晶等因素影响，也不会产生气泡影响产品质量，工作性能稳定可靠。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：