[发明专利]一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池

说明书

本申请公开了一种太阳能电池的制备方法，通过将太阳能电池前置物置于镀膜腔体内加热；将所述镀膜腔体内抽真空；向所述镀膜腔体内输入氨气与硅烷，通过射频电离法在所述太阳能电池前置物表面沉积氮化硅薄膜；其中，射频发生器的占空比为1:5至1:8，包括端点值；经过预设的沉积时间后，将所述镀膜腔体内先抽真空，再充入惰性气体；在所述镀膜腔体内对沉积过所述氮化硅薄膜的太阳能电池前置物进行退火；在经过退火处理的所述太阳能电池前置物表面设置电极，得到所述太阳能电池。本申请降低氮化硅薄膜的致密性，使电极浆料能更顺利地穿透所述氮化硅薄膜与硅形成良好的欧姆接触，提高电池的发电效率。本申请还提供了一种具有上述有益效果的太阳能电池。

技术领域

本申请涉及光伏电池领域，特别是涉及一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池。

背景技术

随着光伏发电技术的不断发展，各种新型高效的太阳能电池层出不穷。尤其随着平价上网时代的到来，如何制作更加高效稳定的电池成为光伏行业的首要任务。

拉脱力是指电池片与焊带的连接强度，是太阳能电池一个特别重要的指标，但是现有的技术拉脱力一直存在隐患，而改善拉脱力的方法，目前都是通过更改电极的浆料配比，以致更改网版设计，使烧结后的栅线能更好地与所述太阳能电池的其他结构相连接。但是一味改变电极材料会引发其他新的问题，如效率偏低，湿重增加，成本增加，烧结窗口变小等。因此，如何在不不增加浆料湿重，不提升成本的前提下提高太阳能电池的拉脱力，是本领域技术人员亟待解决的首要问题。

申请内容

本申请的目的是提供一种太阳能电池的制备方法及太阳能电池，以解决现有技术中拉脱力较差的问题。

为解决上述技术问题，本申请提供一种太阳能电池的制备方法，包括：

将太阳能电池前置物置于镀膜腔体内加热；

将所述镀膜腔体内抽真空；

向所述镀膜腔体内输入氨气与硅烷，通过射频电离法在所述太阳能电池前置物表面沉积氮化硅薄膜；其中，射频发生器的占空比为1:5至1:8，包括端点值；

经过预设的沉积时间后，将所述镀膜腔体内先抽真空，再充入惰性气体；

在所述镀膜腔体内对沉积过所述氮化硅薄膜的太阳能电池前置物进行退火；

在经过退火处理的所述太阳能电池前置物表面设置电极，得到所述太阳能电池。

可选地，在所述的太阳能电池的制备方法中，在对所述太阳能电池前置物表面沉积氮化硅薄膜之前，还包括：

向所述镀膜腔体内输入氨气，对所述太阳能电池前置物的表面进行预清洗。

可选地，在所述的太阳能电池的制备方法中，所述预清洗为通过所述射频发生器对所述太阳能电池片表面进行预清洗，所述射频发生器的占空比的范围为1:5至1:8，包括端点值。

可选地，在所述的太阳能电池的制备方法中，所述预清洗的时间范围为5秒至30秒，包括端点值。

可选地，在所述的太阳能电池的制备方法中，对所述太阳能电池前置物表面沉积氮化硅薄膜具体包括预热阶段、第一沉积阶段及第二沉积阶段；

所述预热阶段的加热温度范围为430摄氏度至460摄氏度，所述预热阶段的持续时间范围为30秒至120秒，包括端点值。

可选地，在所述的太阳能电池的制备方法中，所述第一沉积阶段的氨气的输入速率的范围为1000标准毫升每分钟至15000标准毫升每分钟，硅烷的输入速率的范围为200标准毫升每分钟至1500标准毫升每分钟，射频发生器的功率的范围为5000瓦至15000瓦，包括端点值。