[发明专利]一种MEMS加速度计温度补偿方法

权利要求书

1.一种MEMS加速度计温度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)系统启动，导航计算机开启，MEMS加速度计以及温箱启动；

(2)设置温箱的温度曲线；

(3)将MEMS加速度计水平放置，采集x、y轴加速度数据，通过转接板由计算机采集并储存；

通过采集好的数据(含B₀，T，)代入多项式(1)中，通过最小二乘法拟合得到多项式各项系数(b₀₁～b₁₀)；

其中，B₀为x轴加速度计零偏，T为温度，为温度梯度，上述三个参数均由加速度计输出；

补偿模型为：M＝B₀+B₁a，其中M为x轴加速度计采样加速度，B₁为x轴加速度计标度因数，a为x轴实际加速度；

从而x轴加速度计补偿后的加速度为y轴与x轴计算方法相同，从而得出x轴y轴加速度计补偿后的输出；

(4)将MEMS加速度计竖直放置，重复步骤(3)，从而得到z轴加速度计温度补偿后的输出。

2.一种如权利要求1所述MEMS加速度计温度补偿方法的系统，其特征在于，所述系统包括：MEMS加速度计、温箱、导航计算机、转接板以及接口；

MEMS加速度计，用以输出加速度数据；

温箱，用以控制温度；

导航计算机，用以将MEMS加速度计输出加速度的原始数据采集到计算机中，通过多项式拟合，得到温度补偿多项式；

转接板，用以连接MEMS加速度计与导航计算机的接口；

所述温箱搭载MEMS加速度计，所述MEMS加速度计通过接口与转接板连接，所述转接板通过接口与导航计算机连接。

3.一种如权利要求1所述MEMS加速度计温度补偿方法的算法，其特征在于，包括如下步骤：

a.利用最小二乘法进行MEMS加速度计零偏的多项式拟合；通过最小二乘法确定多项式系数，从而建立零偏与温度及温度梯度的关系；

b.计算MEMS加速度计实际输出；通过拟合好的多项式计算出零偏，从而计算出补偿后的实际加速度值。