[发明专利]用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置有效
申请号: | 201910956375.8 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN110541156B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 马宏图;张丽娜;李琳琳;李国庆;何伟;李帅;韩华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院自动化研究所;聚束科技(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/20;C23C14/34 |
代理公司: | 北京市恒有知识产权代理事务所(普通合伙) 11576 | 代理人: | 郭文浩;尹文会 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 镀膜 制备 连续 导电 薄膜 装置 | ||
1.一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,该装置包括基体和控制部,所述基体上设置有:
转接口,所述转接口用于使所述基体连接到镀膜仪上;
条带运载头,所述条带运载头的末端固定在所述基体上,在所述基体连接于所述镀膜仪之后,所述条带运载头的前端伸入到所述镀膜仪的真空腔内;
主腔室,在所述基体连接于所述镀膜仪之后,所述主腔室与所述镀膜仪的真空腔连通;
送带卷轴和收带卷轴,所述送带卷轴和所述收带卷轴位于所述主腔室内,并且,位于所述送带卷轴上的条带绕过所述条带运载头并粘贴到所述收带卷轴;
所述主腔室内靠近所述条带运载头末端的位置设置有第一条带限位模块和第二条带限位模块,位于所述送带卷轴上的条带穿过所述第一条带限位模块后绕过所述条带运载头,再穿过所述第二条带限位模块之后粘贴到所述收带卷轴;
所述控制部能够控制所述送带卷轴和所述收带卷轴转动以使所述条带沿所述条带运载头绕转,并因此使所述条带从所述送带卷轴运转到所述收带卷轴上;其中,在所述条带沿所述条带运载头绕转的过程中,所述镀膜仪对所述条带进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述第一条带限位模块位于所述第二条带限位模块的上方;
所述第一条带限位模块由安装于所述主腔室内的第一圆柱体和第二圆柱体组成,所述第一圆柱体和所述第二圆柱体之间留有用于条带穿过的缝隙,通过所述缝隙以防止条带在运动过程中发生偏离;
所述第二条带限位模块由安装于所述主腔室内的第三圆柱体和第四圆柱体组成,所述第三圆柱体和所述第四圆柱体之间留有用于条带穿过的缝隙,通过所述缝隙以防止条带在运动过程中发生偏离。
3.根据权利要求1所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述条带运载头以可拆卸的方式安装于所述基体上;
并且/或者,所述条带运载头上靠近前端的位置预设与所述条带宽度相匹配的槽;所述镀膜仪能够对经过所述槽的条带进行镀膜。
4.根据权利要求3所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述条带运载头上沿所述条带绕转的方向设置有多个条带运转限位滚轴,
穿过所述第一条带限位模块后的条带绕过所述条带运载头的过程中,依次穿过所述条带运转限位滚轴,以防止所述条带在沿所述条带运载头绕转的过程中发生偏移。
5.根据权利要求4所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述条带运转限位滚轴为三个,分别设置于所述条带运载头的上表面、所述条带运载头的前端和所述条带运载头的下表面;
并且/或者,所述条带运转限位滚轴为可转动的金属圆柱或聚四氟乙烯橡胶圆柱。
6.根据权利要求1所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述基体上还设置有检测模块,所述检测模块用于检测所述条带是否用尽。
7.根据权利要求6所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述检测模块为应力检测模块或红外线物体检测模块。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述主腔室的内壁上安装有LED灯,所述LED灯用于主腔室内部的照明。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置,其特征在于,所述主腔室包括透明材质制成的主腔室门。
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