[发明专利]一种石英坩埚制备方法有效
申请号: | 201910959337.8 | 申请日: | 2019-10-10 |
公开(公告)号: | CN110541192B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 杨俊;张涛;白枭龙;汪沛渊;何丽珠;刘礼猛;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06;C04B35/14;C04B35/64 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘新雷 |
地址: | 334000 江西省上*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 坩埚 制备 方法 | ||
1.一种石英坩埚,其特征在于,包括坩埚主体以及依次设置在所述坩埚主体内壁的气泡层、透明层,所述透明层包括位于尾棒加料液位线上方的上透明分部以及设置在所述尾棒加料液位线下方的下透明分部,所述气泡层、所述透明层在所述坩埚主体的水平线以上的部分的总厚度处处相等,所述上透明分部在所述尾棒加料液位线处与所述下透明分部连接,且所述上透明分部的厚度大于所述下透明分部的厚度。
2.如权利要求1所述石英坩埚,其特征在于,所述上透明分部的厚度为6mm~20mm。
3.如权利要求2所述石英坩埚,其特征在于,所述下透明分部的厚度为3mm~10mm。
4.如权利要求3所述石英坩埚,其特征在于,所述上透明分部与所述下透明分部之间平滑过渡或阶梯过渡。
5.如权利要求4所述石英坩埚,其特征在于,所述上透明分部的厚度与所述下透明分部的厚度比值为1.5~2。
6.如权利要求5所述石英坩埚,其特征在于,所述气泡层的厚度为5mm~20mm。
7.如权利要求6所述石英坩埚,其特征在于,所述尾棒加料液位线与所述坩埚主体的坩埚口的间距为30mm~50mm。
8.一种石英坩埚制备方法,其特征在于,包括:
步骤1,按照预设尺寸制备坩埚模具;
步骤2,在所述坩埚模具的内壁依次沉积第一石英砂层、第二石英砂层,电弧烧结制成坩埚主体、气泡层,所述第二石英砂层在所述坩埚主体的尾棒加料液位线以上的烧结时间小于在所述尾棒加料液位线以下的烧结时间;
步骤3,在所述气泡层的内壁沉积设置第三石英砂层,对所述第三石英砂层在尾棒加料液位线以上的烧结时间大于在所述尾棒加料液位线以下的烧结时间,使得所述第三石英砂层烧结成的透明层与所述气泡层在所述坩埚主体的水平线以上的总厚度处处相等。
9.如权利要求8所述石英坩埚制备方法,其特征在于,所述透明层包括位于所述尾棒加料液位线上方的上透明分部以及位于所述尾棒加料液位线下方的下透明分部,所上透明分部的厚度为6mm~20mm,所述下透明分部的厚度为3mm~10mm。
10.如权利要求9所述石英坩埚制备方法,其特征在于,所述气泡层的厚度为5mm~20mm。
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