[发明专利]一种掺磷有源光纤的制备方法在审
| 申请号： | 201910960762.9 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN110734220A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 卞新海;冯术娟;赵霞;缪振华;韩婷婷;徐律;张俊逸;周震华 | 申请（专利权）人： | 法尔胜泓昇集团有限公司;江苏法尔胜光通信科技有限公司;江苏法尔胜光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 32380 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙燕波 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 疏松体 基管 二氧化硅 芯层 掺杂离子 源光纤 掺磷 吹干 塌缩 尾管 沉积 浸泡 预处理 掺杂离子溶液 光纤预制棒 氯气 沉积芯层 基管内壁 离子掺杂 烧结 不均匀 预制棒 磷酸 吸附 制备 氧气 重复 | ||
1.一种掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：其中掺磷有源光纤预制棒包括外包层和外包层内侧的芯层，步骤包括
(1)基管预处理：以石英管作为基管；
(2)在基管内壁沉积二氧化硅疏松体；
(3)切断尾管，将基管浸泡到含有磷酸的掺杂离子溶液中，吸附包含磷在内的掺杂离子；
(4)浸泡结束后吹干二氧化硅疏松体层内的水分；
(5)将吹干的基管重新接上尾管，氧化二氧化硅疏松体内的掺杂离子，通入氯气对二氧化硅疏松体层进行干燥；
(6)将二氧化硅疏松体层玻璃化烧结成芯层；
(7)重复步骤(2)-(6)n次，其中n为芯层的总沉积次数，获得基管内的芯层；
(8)在He、POCl3的气氛条件下塌缩，制得掺磷有源光纤预制棒。
2.根据权利要求1所述的掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：步骤(1)中，石英管加热至1400℃，抛光，去除基管内壁的杂质和气泡。
3.根据权利要求1所述的掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：步骤(3)中，所述掺杂离子溶液中含有AlCl3、YbCl3和H3PO4，其中AlCl3的摩尔浓度为0.25％，YbCl 3的摩尔浓度为0.05％，H3PO4的摩尔浓度为0.2％。
4.根据权利要求1所述的掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：步骤(4)中采用氮气吹干二氧化硅疏松体层内的水分。
5.根据权利要求1所述的掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：步骤(5)中采用通入氧气的方式氧化二氧化硅疏松体内的掺杂离子。
6.根据权利要求1所述的掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：步骤(6)中，玻璃化烧结气氛中O2、He的气体流量分别为150sccm、300sccm。
7.根据权利要求1所述的掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：步骤(8)中，塌缩气氛中在He、POCl3的气体流量分别为150sccm，40sccm。
8.根据权利要求1所述的掺磷有源光纤的制备方法，其特征在于：步骤(8)中，塌缩包括正向塌缩和反向塌缩。
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