[发明专利]一种智能抽真空系统

权利要求书

1.一种智能抽真空系统，其特征在于：所述智能抽真空系统包括主管路部分（1）、传感监测部分（2）和控制系统部分（3）；

所述主管路部分（1）包括并联设置的多个抽气口组，每组设置多个抽气口（1.1），每个抽气口（1.1）连接一个抽气瓶（1.2）；

所述多个抽气口组的总管路与冷阱（1.3）的一侧相连，所述冷阱（1.3）与抽气口组之间的管路上还通过支管连接加热炉（1.4），所述加热炉（1.4）底部通过管路连接一号液氮瓶（1.5）；

所述冷阱（1.3）的另一侧并联设置有一号支路和二号支路；

所述一号支路上依次设置有一号泵（1.6）和二号泵（1.7）；

所述二号支路上设置有四号泵（1.8），所述四号泵（1.8）一侧与冷水机（1.9）相连，另一侧通过管路连接到一号支路上，连接处位于一号泵（1.6）的上方；

所述四号泵（1.8）与一号支路连接的管路上还延伸出三号支路，并通过三号支路连接三号泵（1.10）；

所述冷阱（1.3）的侧壁上还通过管路与二号液氮瓶（1.11）相连；

所述冷阱（1.3）底部还设置有排出管路（1.12）。

2.根据权利要求1所述的一种智能抽真空系统，其特征在于：所述传感监测部分（2）包括电磁阀，所述电磁阀包括一号阀（2.1）、二号阀（2.2）、三号阀（2.3）、四号阀（2.4）、五号阀（2.5）、六号阀（2.6）和七号阀（2.7）；

所述一号阀（2.1）安装在冷阱（1.3）另一侧的一号支路上，并位于四号泵（1.8）与一号支路的连接点上方；

所述二号阀（2.2）安装在四号泵（1.8）与一号支路的连接管路上，并位于延伸出的三号支路上方；

所述三号阀（2.3）安装在三号泵（1.10）的上方；

所述四号阀（2.4）安装在冷阱（1.3）另一侧的二号支路上，并位于四号泵（1.8）上方；

所述五号阀（2.5）安装在加热炉（1.4）所处的支管上，并位于加热炉（1.4）右侧；

所述六号阀（2.6）安装在冷阱（1.3）与二号液氮瓶（1.11）之间的管路上；

所述七号阀（2.7）安装在加热炉（1.4）与一号液氮瓶（1.5）之间的管路上。

3.根据权利要求2所述的一种智能抽真空系统，其特征在于：所述传感监测部分（2）还包括液位变送器（2.8）、汇流排压力变送器（2.9）、温度变送器（2.10）、压力变送器（2.11）、电阻规和电离规；

所述液位变送器（2.8）安装在一号液氮瓶（1.5）上；

所述汇流排压力变送器（2.9）安装在一号液氮瓶（1.5）的上方管路上；

所述温度变送器（2.10）和压力变送器（2.11）分别安装在加热炉（1.4）的上端两侧。

所述电阻规和电离规均有多个，且数量均与抽气瓶（1.2）相匹配，并分别安装在每个抽气瓶（1.2）的上方。

4.根据权利要求1所述的一种智能抽真空系统，其特征在于：所述控制系统部分（3）包括控制电柜（3.1）和信号采集电柜（3.2）；

所述一号泵（1.6）、二号泵（1.7）、三号泵（1.10）、四号泵（1.8）、冷水机（1.9）、加热炉（1.4）均通过导线连接控制电柜（3.1）；

多个电阻规和电离规均通过导线与信号采集电柜（3.2）相连。

5.根据权利要求4所述的一种智能抽真空系统，其特征在于：所述控制电柜（3.1）上包括功能按钮和触摸显示屏；

所述信号采集电柜（3.2）上设置有显示屏，所述显示屏划分为多个区域，与多组抽气口组相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种智能抽真空系统，其特征在于：所述主管路部分（1）包括并联设置的4组抽气口组，每组设置15个抽气口（1.1）。