[发明专利]驱动单元测量设备和具有该设备的硅晶体生长设备

权利要求书

1.一种驱动单元测量设备，所述设备包括：

坩埚支承件，所述坩埚支承件用于支承坩埚；

坩埚轴，所述坩埚轴用于使所述坩埚支承件旋转；

牵拉单元，所述牵拉单元用于在所述坩埚的上部使籽晶升高或旋转；

坩埚驱动单元，所述坩埚驱动单元用于使所述坩埚支承件旋转或升高；

平头螺母，所述平头螺母可拆卸地联接于所述牵拉单元；

坩埚轴检查夹具，所述坩埚轴检查夹具可拆卸地联接于所述坩埚驱动单元；以及

位移测量单元，所述位移测量单元联接于所述平头螺母和所述坩埚轴检查夹具，并测量所述牵拉单元和所述坩埚驱动单元的高度和旋转位移中的至少一个，

其中，所述坩埚轴检查夹具被联接，以代替所述坩埚轴。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述坩埚驱动单元包括：

坩埚轴旋转部，所述坩埚轴旋转部用于使所述坩埚轴旋转；以及

坩埚轴牵拉部，所述坩埚轴牵拉部用于使所述坩埚轴上下运动。

3.如权利要求2所述的设备，其特征在于，所述坩埚轴检查夹具包括：

基板；

轴，所述轴的一端联接于所述基板的中央区域；以及

渐缩衬套，所述渐缩衬套联接于所述轴的另一端。

4.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述基板具有盘状。

5.如权利要求4所述的设备，其特征在于，所述基板具有平坦的上表面，以便与所述平头螺母平行。

6.如权利要求5所述的设备，其特征在于，所述渐缩衬套具有从上部到下部变尖的形状。

7.如权利要求6所述的设备，其特征在于，所述平头螺母包括：

水平板，所述水平板与所述基板并排配置；以及

配重连接部，所述配重连接部从所述水平板的上部联接于所述牵拉单元。

8.如权利要求7所述的设备，其特征在于，所述牵拉单元包括：

籽晶线缆；

牵拉单元，所述牵拉单元用于使所述籽晶线缆的一端升高或旋转；以及

籽晶夹头，所述籽晶夹头安装于所述籽晶线缆的另一端。

9.如权利要求8所述的设备，其特征在于，所述配重连接部可拆卸地联接于所述籽晶夹头。

10.如权利要求9所述的设备，其特征在于，所述配重连接部具有形成在其内侧上的螺纹，并且螺纹连接于所述籽晶夹头。

11.如权利要求10所述的设备，其特征在于，所述位移测量单元包括联接于所述坩埚轴检查夹具的至少一个位移传感器。

12.如权利要求10所述的设备，其特征在于，所述位移测量单元包括：

第一位移传感器，所述第一位移传感器联接于所述坩埚轴检查夹具；

第二位移传感器，所述第二位移传感器联接于所述坩埚轴检查夹具；以及

参考螺母，所述参考螺母联接于所述坩埚轴检查夹具。

13.如权利要求12所述的设备，其特征在于，所述第一位移传感器和所述第二位移传感器以及所述参考螺母安装在所述坩埚轴检查夹具的所述基板的上部上。

14.如权利要求13所述的设备，其特征在于，所述位移测量单元还包括近程传感器，所述近程传感器联接于所述平头螺母以测量旋转位移。

15.如权利要求14所述的设备，其特征在于，所述近程传感器和所述参考螺母相对于所述坩埚轴检查夹具和所述平头螺母的旋转中心轴线同心地配置。