[发明专利]一种芯片植球用键合丝在审
申请号: | 201910961734.9 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN110648989A | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
发明(设计)人: | 李天祥;张冠忠;杨松青 | 申请(专利权)人: | 重庆新启派电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48;C21D9/52;C22C1/02;C22C5/06;C22F1/14 |
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地址: | 400000 重庆市石柱土家族自治县下*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 熔炼 冷却水流速 高纯氩气 金属提纯 高真空 合金棒 键合丝 下拉式 拉铸 植球 芯片 保证 | ||
本发明公开了一种芯片植球用键合丝的方法。所采用的技术方案:对金银等金属提纯以保证其纯度为99.9999%。高真空熔炼,充高纯氩气保护下拉式熔炼方式,拉铸成合金棒。熔炼温度1000‑1500℃,拉铸速度10mm/min‑100mm/min。冷却水流速为1‑10L/min。
技术领域
本发明涉及材料技术领域,采用高真空熔炼技术使熔融的金、银溶液均匀融合,采用下拉式熔铸成坯杆,经过拉丝、中间回火、退火、绕线制备出芯片植球用键合丝。
技术背景
目前市场上IC封装线片植球用键合丝是以纯金添加微量元素为主的产品。黄金价格居高不下的情况下,给生产企业和使用企业到来了高昂的成本。利用高真空熔炼技术使熔融的金、银溶液均匀融合,采用下拉式熔铸成坯杆,经过拉丝、中间回火、退火、绕线制备出芯片植球用键合丝。市场还没有推出通过合金化生产芯片植球用键合丝。
发明内容
本发明提供了一种芯片植球用键合丝材料,通过高真空熔炼技术是金、银以及添加的微量元素均匀融合,再经过正火,细化组织,改善材料的性能,获得接近平衡状态的组织,增加材料的塑性。经过拉丝、中间回火、退火、绕线制备出芯片植球用键合丝。实验证明,该准晶键合银丝有效克服了普通金丝的强度偏低,容易出现小尾巴的缺点,具有焊接性能好,可靠性强等优点,并且降低成本60%左右。
本发明所采用的技术方案为:该键合金丝的成分和含量如下(重量百分比):金45-50%,银55-50%,钯1-5%,稀土5-50ppm。
本发明还提出了一种制备该芯片植球用键合丝的方法,所述方法包括以下步骤:
1、金属材料:采用金、银、钯等纯度大于6N的高纯金属。
2、真空熔炼:采用高真空融炼,充高纯氩气保护的方式进行下拉式熔炼。高真空和高纯氩气保护能够最大限度保护添加微量元素不被氧化,保证添加元素的准确性和均匀性。
3、拉丝:拉铸后的棒材在拉丝机上逐步拉细,直至要求的直径。其拉丝过程中的模具延伸率为4%-20%,拉丝速度为1-20m/s。
4、中间正火:中间正火温度400-600℃,保温4小时以上,随炉冷却道室温,再拉丝到成品
4、退火:退火温度为300-600℃,速度0.5-2m/s。
5、绕线:将丝线分绕成不同长度的小轴,速度为0.2-5m/s。
与现有技术相比,本发明的芯片植球用键合丝具有以下显著的优点和有益效果:
1、本发明的芯片植球用键合丝有效克服了普通金丝的强度偏低,容易出现小尾巴的缺点,具有焊接性能好,可靠性强等优点。
2、成本降低60%左右。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进一步详细说明
本发明芯片植球用键合丝按以下工艺步骤制备:
1、提纯:采用二次电解提纯技术,所有添加金属的纯度要达到6N以上。
2、熔炼:熔铸设备为高真空熔铸机,拉铸方式为连续拉铸,拉铸速度为10-100mm/min,熔铸温度为1000-1500℃。液氮流速为1-10L/min.
3、拉丝:拉丝速度为1-20m/s。
4、中间正火:退火温度400-600℃
5、退火速度为0.5-5m/s,温度为400℃-500℃。
6、绕线速度为1.5m/s。
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