[发明专利]一种用于散射实验站的真空腔体组件

权利要求书

1.一种用于散射实验站的真空腔体组件，其特征在于，包括：具有一容纳空间的真空腔体本体；连接于所述真空腔体本体前端的波纹管；设置于所述真空腔体本体后端的透光窗口，所述透光窗口处固定有聚酰亚胺薄膜；设置于所述真空腔体本体内底部的两套二维运动平台；分别通过一连接装置与所述二维运动平台连接的第一束流阻挡器和第二束流阻挡器；以及分别安装于第一、第二束流阻挡器上的用于测量光强的光电二极管；其中，所述第一束流阻挡器和第二束流阻挡器可同时运动或分别运动，同时满足SAXS、GISAXS以及低分辨XRR三种实验要求。

2.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，还包括设置于所述真空腔体本体下方的真空腔体支撑调节机构，采用三点支撑，用来调节所述真空腔体本体的姿态。

3.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，还包括设置于所述真空腔体本体的侧壁上的两组线缆馈入法兰，每组线缆馈入法兰上开有三个孔，用于安装两轴电机控制线缆和一轴光强信号线。

4.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，还包括设置于真空腔体本体侧壁上的真空计连接接头，用于连接测量真空腔体本体内真空度的真空计。

5.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，还包括设置于真空腔体本体侧壁上的真空泵连接接头，用于连接对所述真空腔体本体抽真空的真空泵。

6.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，所述真空腔体本体的底部设有均匀开孔的光学平板。

7.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，所述波纹管的一端通过真空法兰与所述真空腔体本体前端连接，另一端与真空管道连接。

8.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，所述二维运动平台通过实验站通用的电机控制器和驱动器控制。

9.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，根据不同实验要求，可安装不同形状、尺寸以及行程要求的第一、第二束流阻挡器。

10.根据权利要求1所述的真空腔体组件，其特征在于，所述真空腔体本体由铝材制成，表面抛光处理。