[发明专利]一种Ta-TaN-TaWN超硬涂层刀具及其制备方法在审
| 申请号： | 201910965629.2 | 申请日： | 2019-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN111254399A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 吴泽;刘磊;邢佑强;鲍航 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210096 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 ta tan tawn 涂层 刀具 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种Ta-TaN-TaWN超硬涂层刀具，其特征在于：刀具基体材料可以是高速钢、硬质合金、陶瓷等常规刀具材料，涂层沿基体外表面由内向外依次为Ta过渡层、TaN硬涂层、TaWN超硬涂层。
2.根据权利要求1所述的一种Ta-TaN-TaWN超硬涂层刀具，特别地，其Ta过渡层的厚度为0.5～0.8μm，TaN硬涂层的厚度为1.0～1.2μm，TaWN超硬涂层的厚度为0.8～1.5μm。
3.根据权利要求1所述的一种Ta-TaN-TaWN超硬涂层刀具，其特征是通过如下方法制备：采用磁控溅射结合多弧离子镀的方法在刀具基体表面分别依次沉积Ta过渡层、TaN硬涂层、TaWN超硬涂层。
4.根据权利要求3所述的Ta-TaN-TaWN超硬涂层刀具的制备方法，其特征在于：Ta过渡层、TaN硬涂层、TaWN超硬涂层的制备分别均选用所需的单质材料作为射频靶材，通氮气和氩气的混合气体，氮气与氩气的质量分数占比为1∶4，沉积气压0.5-1.0Pa，沉积温度控制在350～450℃。
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