[发明专利]一种微尺度装药爆速测试系统

权利要求书

1.一种微尺度装药爆速测试系统，包括小型爆炸容器(1)，其特征在于：小型爆炸容器(1)内固定有对准装置(2)，对准装置(2)将雷管(8)、微尺度装药(9)和传感器(10)对准，雷管(8)的输入端与起爆装置(3)连接，传感器(10)的输出端通过同轴电缆(6)与通断信号适配器(4)的输入端连接，通断信号适配器(4)的输出端通过同轴电缆(6)与示波器(5)连接；

所述的小型爆炸容器(1)包括底座(1-1)，底座(1-1)通过限位结构和保护盖(1-3)连接，底座(1-1)上方开有三个引线口(1-2)；

所述的对准装置(2)包括装药载体(2-1)和传感器载体(2-3)，装药载体(2-1)通过螺栓固定于传感器载体(2-3)上，装药载体(2-1)上开有雷管定位孔(2-4)和装药槽(2-5)，传感器载体(2-3)上设有传感器定位标记(2-2)；

所述的传感器(10)包括基底(10-1)，基底(10-1)上设有若干具有间距的电探针组，每组电探针包含两根在长度方向相对布置且具有间隔的电探针(10-2)，电探针(10-2)的外侧连接有压焊块(10-5)，每根电探针(10-2)上覆盖有电磁屏蔽层(10-4)，基底(10-1)上还设有对准标记(10-3)；

所述的电磁屏蔽层(10-4)包含三层结构：最内层为绝缘层(10-4a)，厚度100nm，采用氧化铝无机材料，通过溅射工艺形成，或采用聚酰亚胺有机材料，通过旋涂固化工艺形成；中间层为电磁屏蔽工作层(10-4c)，厚度为1μm，采用金属、导电纳米银浆、碳纳米管或石墨烯材料；最外层为保护层(10-4b)，厚度200nm，采用二氧化硅无机材料，通过溅射工艺形成，或采用Parylene有机材料，通过化学气相沉积工艺形成。

2.根据权利要求1所述的一种微尺度装药爆速测试系统，其特征在于：所述的传感器(10)粘贴在传感器载体(2-3)上。

3.根据权利要求1所述的一种微尺度装药爆速测试系统，其特征在于：所述的微尺度装药(9)通过直写工艺制作于装药槽(2-5)中，装药宽度和高度为1mm，长度为5cm。

4.根据权利要求1所述的一种微尺度装药爆速测试系统，其特征在于：所述的电探针组之间采用等间距排布，或采用变间距排布，根据实际测量情况而定。

5.根据权利要求1所述的一种微尺度装药爆速测试系统，其特征在于：所述的基底(10-1)采用聚酰亚胺或聚四氟乙烯柔性材料，通过旋涂固化或化学气相沉积工艺制成，厚度为25μm。

6.根据权利要求1所述的一种微尺度装药爆速测试系统，其特征在于：所述的电探针(10-2)和压焊块(10-5)采用金或铜材料，通过靶材溅射而成；电探针(10-2)的宽度为50μm，厚度为100nm；电探针组内的电探针间隔略小于微尺度装药(9)宽度。