[发明专利]一种含多元醇和PEG的单晶硅制绒添加剂配方在审
| 申请号： | 201910965957.2 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110846721A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 张丽;陈婉君;卢建红;阎建辉;杨海华;邓小梅;陈文明;刘襄 | 申请（专利权）人： | 湖南理工学院 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 414006 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多元 醇和 peg 单晶硅 添加剂 配方 | ||
1.一种用于单晶硅片制绒液的添加剂，其特征在于其包含的组分为：多元醇，聚合物多元醇（聚乙二醇），有机酸钠盐，无机盐和去离子水。
2.在权利要求1所述的基础上，添加剂中多元醇是MPD、乙二醇、1，2-丙二醇、丙三醇和1，4-丁二醇中一种或几种的混合物，多元醇与水的重量比为0.5-2.5:100。
3.在权利要求1所述的基础上，添加剂中聚合物多元醇是PEG，主要包括PEG200、PEG400、PEG600、PEG800和PEG1000中一种或几种的混合物，PEG与水的重量比为1.0-3.0:100。
4.在权利要求1所述的基础上，添加剂中有机钠盐是丁二酸钠、乙二酸钠、苯甲酸钠、苯乙酸钠和间苯二甲酸钠中一种或几种的混合物，有机钠盐与水的重量比为0.1-1.0:100。
5.在权利要求1所述的基础上，添加剂中无机盐是NaCl、KCl、Na2SO4、K2SO4、Na2SiO3中一种或几种的混合物，无机盐与水的重量比为0.1-1.0:100。
6.一种用于单晶硅片表面制绒液的配制方法，其特征是于1 L 去离子水中加入重量百分浓度为30%的NaOH溶液20.0-40.0mL，加入添加剂10.0-20.0mL，得到碱性制绒液。
7.在权利要求1-6的基础上，采用本添加剂配置的制绒液，在单晶硅片表面形成的金字塔尺寸平均小于4μm，硅片整面色泽较均匀，平均反射率低于10％，被腐蚀掉的硅片量小于4％。
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