[发明专利]一种含聚乙烯吡咯烷酮和缩二醇的单晶硅制绒添加剂配方在审
| 申请号： | 201910965961.9 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110644054A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 阎建辉;黄杨;卢建红;张丽;杨海华;陈婉君;邓小梅;钟慧 | 申请（专利权）人： | 湖南理工学院 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 414006 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重量比 混合物 添加剂 有机酸盐 硅酸钠 二醇 聚乙烯吡咯烷酮 对苯二甲酸钠 二缩三丙二醇 二缩三乙二醇 三缩四乙二醇 一缩二乙二醇 单晶硅 单晶硅表面 间苯二甲酸 苯甲酸钾 苯甲酸钠 苯乙酸钠 去离子水 制绒剂 制绒液 水中 离子 配方 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于单晶硅片制绒液的添加剂，其特征在于其中包含的组分为：聚乙烯吡咯烷酮（PVP），缩二醇，含苯有机酸盐，硅酸钠和去离子水。
2.一种用于单晶硅片制绒液的添加剂在权利要求1所述的基础上，添加剂中PVP是PVP-K12、PVP-K15、PVP-K17、 PVP-K25、PVP-K30中一种或几种的混合物，PVP与水的重量比为0.2-1.0:100。
3.在权利要求1所述的基础上，添加剂中缩二醇包括一缩二乙二醇、二缩三乙二醇、三缩四乙二醇、一缩二丙二醇和二缩三丙二醇中一种或几种的混合物，缩二醇与水的重量比为1.0-3.0:100。
4.在权利要求1所述的基础上，添加剂中含苯有机酸盐是苯甲酸钠、苯甲酸钾、苯乙酸钠、对苯二甲酸钠和间苯二甲酸钠中一种或几种的混合物，含苯有机酸盐与水的重量比为0.1-1.0:100。
5.在权利要求1所述的基础上，硅酸钠与水的重量比为0.1-1.0:100。
6.一种用于单晶硅片表面制绒液的配制方法，其特征是于1 L 去离子水中加入重量百分浓度为30%的NaOH溶液25.0-45.0mL，加入添加剂10.0-20.0mL，得到碱性制绒液。
7.在权利要求1-6的基础上，采用本添加剂配置的制绒液，在单晶硅片表面形成的金字塔尺寸小于4μm，硅片整面色泽均匀，平均反射率低于10％，被腐蚀掉的硅片量小于3.5％。
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