[发明专利]一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置

说明书

本发明公开了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体、水冷装置，本发明通过在镀膜机腔体外表面设置了水冷装置，将内壳本体内表面的内螺旋凸块与镀膜机腔体进行接触密封，由内螺旋凸块进行分割内壳本体内表面形成一条螺旋下降的导水槽，将水由入水口导入，水流沿着导水槽由出水口导出，充分的接触镀膜机腔体表面，达到良好的降温效果，通过在水冷装置外表面设置了风冷装置，通过将内螺旋凸块与镀膜机腔体进行接触密封，将热量导给内壳本体，再由外螺旋散热凸块贴合外筒形成导风道，由散热风机通电进行工作，将热风排出，凉风由进风口导入顺着导风道进行吹过，加大了与风接触的面积，提高了散热效果，减小了装置的体积。

技术领域

本发明涉及真空镀膜机辅助设备相关领域，具体是一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要通过冷却装置进行冷却，以确保设备正常工作。

1、但现有的水冷散热通常在是在真空镀膜机腔体外表面设置散热水管，或者开设水槽，通过散热水管进行散热，水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却效果不佳，通过在真空镀膜机腔体外表面开设水槽进行降温，真空镀膜机腔体外表面厚度有限，水流量小降温效果差。

2、现有的风冷散热，通常是直接通过多个风扇进行旋转多角度的吹真空镀膜机腔体的外表面进行散热，占用面积，使用操作麻烦，并且真空镀膜机腔体外表面与空气的接触面积有限，散热效果差。

本发明内容

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置。

本发明是这样实现的，构造一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，该装置包括镀膜机腔体、水冷装置、风冷装置、密封装置、连接装置、蓄水箱、水泵、水泵开关、电源线、第一导管和第二导管，所述镀膜机腔体右端设置有蓄水箱，所述蓄水箱顶部与水泵底部设置的进水管固定连接，所述水泵前端设置有水泵开关，并且水泵后端设置有电源线，所述第一导管右端与蓄水箱固定密封，所述第二导管底部与水泵后端设置的出水管密封固定，所述水泵和水泵开关均与电源线电连接，所述水冷装置内表面与镀膜机腔体密封固定，所述水冷装置外表面包裹有风冷装置，所述密封装置内表面与镀膜机腔体顶部密封固定，所述密封装置底部与水冷装置顶部密封连接，所述密封装置贴合于风冷装置顶部，所述连接装置左端与水冷装置密封固定，并且连接装置中部外径贯穿风冷装置，所述水冷装置由内壳本体、出水口、入水口、内螺旋凸块、导水槽、内螺纹、限位槽和外螺旋散热凸块组成，所述内壳本体右端上下两侧分别设置有入水口和出水口，并且出水口和入水口内表面均设置有连接装置，所述内壳本体内表面设置有一体铸成的内螺旋凸块，并且通过内螺旋凸块将内壳本体内表面分隔成均匀排列的导水槽，所述内螺纹刻制于内壳本体顶部内径，并且内壳本体底部内侧设置有圆形的限位槽，所述外螺旋散热凸块均匀设置于内壳本体外表面，并且外螺旋散热凸块与内壳本体为一体铸成，所述内螺旋凸块与镀膜机腔体外表面密封固定，所述内螺纹与密封装置底部外表面通过螺纹固定连接，所述限位槽内表面与镀膜机腔体底部间隙配合，所述外螺旋散热凸块贴合于风冷装置内表面。

优选的，所述风冷装置由外筒、散热风机、风机开关和进风口组成，所述外筒前端底部内嵌有散热风机，并且散热风机右端底部前侧设置有风机开关，所述外筒前端顶部设置有圆形的进风口，并且外筒顶部与密封装置相互贴合，所述外筒内表面与外螺旋散热凸块相互贴合，并且外筒贴合于外螺旋散热凸块底部，所述散热风机和风机开关均与电源线电连接。