[发明专利]一种密封装置、容器及工件的处理装置

权利要求书

1.一种密封装置，其特征在于，包括：

通道本体，其允许待处理工件通过；

以及刮片密封组件，其设于所述通道本体的至少一侧内壁面上，所述刮片密封组件包括沿所述待处理工件的行进方向设置的多个刮片密封件，所述待处理工件进入所述通道本体且与所述刮片密封件密封地滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种密封装置，其特征在于，所述刮片密封组件还包括设于所述内壁面上的密封固定件，所述刮片密封件通过所述密封固定件可拆卸地设于所述通道本体的内壁面上。

3.根据权利要求2所述的一种密封装置，其特征在于，所述密封固定件包括第一密封固定件和第一连接件，所述第一密封固定件固设于所述通道本体的内壁面上，所述刮片密封件通过所述第一连接件固定连接于所述第一密封固定件上。

4.根据权利要求3所述的一种密封装置，其特征在于，所述密封固定件还包括第二密封固定件，所述第一连接件固定连接所述第二密封固定件、所述刮片密封件和所述第一密封固定件。

5.根据权利要求4所述的一种密封装置，其特征在于，所述第一密封固定件与所述刮片密封件抵接的侧面上设有若干第一齿，所述第二密封固定件与所述刮片密封件抵接的侧面上分别设有若干第二齿，其中所述第一齿和所述第二齿错开设置。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的一种密封装置，其特征在于，所述刮片密封件为柔性刮片密封件。

7.根据权利要求6所述的一种密封装置，其特征在于，所述刮片密封件朝向所述待处理工件的行进方向倾斜设置。

8.根据权利要求7所述的一种密封装置，其特征在于，所述刮片密封件被折弯的弯折长度大于等于相邻所述刮片密封件之间的间距。

9.根据权利要求8所述的一种密封装置，其特征在于，所述通道本体包括一对相对设置的侧壁以及连接所述侧壁的底壁，其中至少在一对所述侧壁上对称设置所述刮片密封组件。

10.根据权利要求1所述的一种密封装置，其特征在于，所述密封装置还包括设置在所述待处理工件上未与所述通道本体接触的两端的一对密封板，所述密封板与所述刮片密封件密封地滑动连接。

11.一种容器，其特征在于，包括容器本体和权利要求1至10中任意一项所述的密封装置，其中至少相邻两个所述容器本体的相邻壁上分别设有一个所述密封装置，且相邻两个所述密封装置隔开设置。

12.一种工件的处理装置，其特征在于，包括：

至少两个为权利要求11所述的容器，所述容器本体内盛放有处理液；

其中所述待处理工件和所述容器本体两者其中一个移动，使所述待处理工件适于密封地穿过任一所述通道本体，以带动对应的待处理工件由后方容器本体穿过所述通道本体转移至前方容器本体；

在所述待处理工件或容器本体的行进方向上，任一相邻两个所述密封板之间的距离为L1_i，任一滑行通道的长度为L0_i，其中所述滑行通道为所述密封板在任一所述通道本体中由起始刮片密封件至末端刮片密封件滑行形成的通道，所述L1_i与L0_i之间满足：

L0_min≥L1_max，其中所述L1_max为所有L1_i中的最大值，L0_min为所有L0_i中的最小值，并且i为大于或等于1的自然数。

13.根据权利要求12所述的工件的处理装置，其特征在于，还包括可穿过所述通道本体的至少一个治具，所述治具设有供至少一个所述待处理工件容纳的放置腔，且所述放置腔与该治具所在容器本体的内腔连通；

两个所述密封板通过分别安装在所述治具的两端上而安装于容纳在放置腔内的对应的所述待处理工件的两端上。