[发明专利]一种密封装置、具有该密封装置的容器及工件处理装置

权利要求书

1.一种密封装置，用于对设在容器(2)的壁上且在水平方向沿第一方向延伸的密封通道(5)密封，其特征在于，所述密封装置包括：

至少一个密封组件(1)，沿垂直于第一方向的第二方向可伸缩地设在所述密封通道(5)的一侧壁上，并与其相对的所述密封通道(5)的另一侧内壁之间形成滑行通道(6)；

若干个密封部件(4),间隔布置且可滑动地穿过所述滑行通道(6)，用于固定待处理工件；

所述密封组件(1)通过沿第二方向的伸缩运动，而使所述滑行通道(6)的内壁在与任一密封部件(4)处于密封滑动连接的密封状态和脱离所述密封部件(4)的自由状态之间切换；

在所述密封状态下，所述密封组件(1)背向所述滑行通道(6)的外壁面抵接在各自所对应密封通道(5)的内壁上。

2.根据权利要求1所述的密封装置，其特征在于，所述密封组件(1)在做缩回运动时而使所述滑行通道(6)处于密封状态，在做伸出运动时而使所述滑行通道(6)处于自由状态。

3.根据权利要求2所述的密封装置，其特征在于，所述密封组件(1)通过沿第二方向受所述滑行通道(6)内的密封部件(4)的外壁的挤压力而做所述缩回运动。

4.根据权利要求3所述的密封装置，其特征在于，任一所述密封组件(1)包括夹紧部件(11)及至少驱动所述夹紧部件(11)沿第二方向做面向所述滑行通道(6)方向的伸出运动的驱动组件(12)；

所述夹紧部件(11)的外壁面与各自所对应的密封通道(5)的内壁之间形成容纳腔，所述驱动组件(12)设在所述容纳腔内；

所述夹紧部件(11)受所述挤压力而做所述缩回运动，而与所述密封部件(4)形成密封地滑动连接。

5.根据权利要求4所述的密封装置，其特征在于，所述驱动组件(12)包括一端设在所述容器(2)上，另一端设在所述夹紧部件(11)上的至少一个弹性件，所述弹性件给所述夹紧部件(11)施加朝向所述滑行通道(6)方向的偏压力；所述夹紧部件(11)受所述弹性件的偏压力而做所述伸出运动。

6.根据权利要求5所述的密封装置，其特征在于，所述夹紧部件(11)包括沿第一方向延伸的第一部分(111)，及固定在所述第一部分(111)的一端上且由所述第一部分(111)朝向该夹紧部件(11)所对应的密封通道(5)的内壁方向向外折弯延伸的第二部分(112)，所述第二部分(112)较所述第一部分(111)处于密封部件(4)的滑行方向的后方；

在所述密封状态下，所述第一部分(111)的内壁面与所述密封部件(4)形成密封地滑动连接，所述第二部分(112)的外端面抵接在各自对应的密封通道(5)的内壁上。

7.根据权利要求6所述的密封装置，其特征在于，所述第二部分(112)为两个，两个所述第二部分(112)分别固定在所述第一部分(111)的两端上，一个所述第二部分(112)较所述第一部分(111)处于密封部件(4)的滑行方向的后方，另一个所述第二部分(112)较所述第一部分(111)处于密封部件(4)的滑行方向的前方。

8.根据权利要求6或7所述的密封装置，其特征在于，所述第一部分(111)和所述第二部分(112)均呈板块。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的密封装置，其特征在于，至少一个所述密封组件(1)作为第一密封组件，竖向延伸设在所述密封通道(5)内，对应地所述第二方向和所述第一方向中的一个为X轴方向，另一个为Y轴方向。