[发明专利]一种封装打线的键合方法有效
申请号: | 201910969417.1 | 申请日: | 2019-10-12 |
公开(公告)号: | CN110729207B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 高峰;戴伟峰 | 申请(专利权)人: | 闳康技术检测(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200120 上海市浦东新区中国(上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 方法 | ||
1.一种封装打线的键合方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1,在铝电极的待键合区域涂抹导电胶;
S2,在金线的端部压设多个凹槽;
S3,将所述金线设置有凹槽的端部埋设在所述导电胶内,并与所述铝电极抵紧;
S4,通过超声波加热所述金线、所述铝电极以及所述导电胶,使所述导电胶固化,并使所述金线与所述铝电极键合;
S5,截断多余的所述金线;
以螺旋形开设所述凹槽或不连续的开设所述凹槽,在步骤S4之前:旋转所述金线,使所述凹槽与所述导电胶充分接触。
2.根据权利要求1所述的封装打线的键合方法,其特征在于,所述导电胶为填料型导电胶。
3.根据权利要求2所述的封装打线的键合方法,其特征在于,所述填料型导电胶的导电填料为金。
4.根据权利要求1所述的封装打线的键合方法,其特征在于,所述凹槽的一端与所述金线的端部边缘平齐。
5.根据权利要求1所述的封装打线的键合方法,其特征在于,在压设多个所述凹槽之前,削尖所述金线的端部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造