[发明专利]碳纳米管的制备方法,碳纳米管纤维有效
申请号: | 201910971828.4 | 申请日: | 2019-10-14 |
公开(公告)号: | CN110734053B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 邓飞;辛培培 | 申请(专利权)人: | 深圳烯湾科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/162 | 分类号: | C01B32/162;D01F9/12 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 曹柳 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 制备 方法 纤维 | ||
1.一种碳纳米管的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
获取沉积有催化剂层的基板,在保护气体氛围下,将所述沉积有催化剂层的基板装载到化学气相沉积设备的反应炉中;
将所述反应炉抽真空至10-2Torr以下,再注入保护气体使炉内压力为150~300Torr,保持20分钟以上;
在所述保护气体注入速率不变和炉内压力不变的情况下,升温至600~800℃,通入碳源气体和氢气的混合气体进行碳纳米管的生长,得到碳纳米管;所述混合气体中所述碳源气体和所述氢气的体积比为(2~5):1,流速为25sccm~50sccm;所述注入保护气体的流速为300sccm~1000sccm;
停止对所述反应炉内供气和加热,抽真空至所述反应炉内压力为10-2Torr以下后,注入保护气体使炉内压力为150~300Torr,待所述反应炉内温度降低至100℃以下,取出所述碳纳米管;
制得的所述碳纳米管的纯度大于99.2%,管长为100微米~1000微米,管径为8~20纳米。
2.如权利要求1所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于,所述通入碳源气体进行碳纳米管的生长的步骤包括:通入碳源气体和氢气的混合气体进行碳纳米管的生长,生长时间为3~20分钟。
3.如权利要求2所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于所述碳源气体选自:乙烯、乙炔、己烷、甲烷、丙烯、丁烷、一氧化碳、苯、乙醇中的至少一种;和/或,
所述保护气体选自:氮气、氩气、氦气中的至少一种。
4.如权利要求1~3任一所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于,所述催化剂层包括粒径不大于20纳米的金属催化剂颗粒,和/或,
所述催化剂层的厚度为25~35纳米。
5.如权利要求4所述的碳纳米管的制备方法,其特征在于,所述金属催化剂颗粒选自:铁、镍、钴、钼、钛、钒、铬、锰、钌、铅、银、铂、金中的至少一种金属单质催化剂,和/或,铁、钼、钛、钒、铬、锰、镍、钴、钌、铅、银、铂、金中至少两种金属组成的合金催化剂中的至少一种;和/或,
所述基板选自:硅片、镍片、铜片中的至少一种。
6.一种碳纳米管纤维,其特征在于,所述碳纳米管纤维由如权利要求1~5任一方法制得的碳纳米管制得。
7.如权利要求6所述的碳纳米管纤维,其特征在于,所述碳纳米管纤维由碳纳米管的阵列薄膜直接加捻纺制而成。
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