[发明专利]一种掩膜板及其制备方法有效
| 申请号： | 201910972813.X | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN110629156B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 蒋谦;陈永胜;刘志乔 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制备 方法 | ||
1.一种掩膜板，其特征在于，包括：
支撑框，具有多个凹槽；
支撑网，由多个支撑架拼接组成，设于所述支撑框上表面；以及
掩膜条，具有至少一图形区域，设于所述支撑网上表面；
其中，每个支撑架包括：
至少一开口区域，位于所述图形区域下方；以及
彼此平行设置的两支撑条，突出于所述开口区域，分别被设置于所述凹槽内；
所述凹槽的宽度大于或等于所述支撑条的宽度的两倍，用以容纳两支撑条；
所述凹槽的深度为50um-200um；所述支撑条的厚度为20-100um；
所述支撑条包括第一支撑条和第二支撑条；
其中，一支撑架的第二支撑条与另一支撑架的第一支撑条被放置于同一凹槽内。
2.一种掩膜板的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
支撑框提供步骤，提供一支撑框；
支撑网设置步骤，在所述支撑框上表面设置一支撑网，所述支撑网由多个支撑架拼接组成；以及
掩膜条设置步骤，在所述支撑网上表面设置一掩膜条；
在所述支撑框提供步骤中，在所述支撑框上表面设置多个凹槽；所述凹槽的深度为50um-200um；
在所述支撑网设置步骤中，将多个支撑架逐一设置在所述支撑框上表面；
其中，所述掩膜条具有至少一图形区域，至少一所述图形区域覆盖至少一所述支撑架的开口区域，每个支撑架包括
至少一开口区域，位于所述图形区域下方；以及
彼此平行设置的两支撑条，突出于所述开口区域，分别被设置于所述凹槽内；其中，所述支撑条包括第一支撑条和第二支撑条，一支撑架的第二支撑条与另一支撑架的第一支撑条被放置于同一凹槽内；所述支撑条的厚度为20-100um；
在掩膜条设置步骤中，将多条掩膜条逐一安装在所述支撑网上表面。
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