[发明专利]固态成像器件及固态成像器件的制造方法

说明书

本发明涉及能够在抑制混色恶化的同时提高灵敏度的固态成像器件以及固态成像器件的制造方法电子装置。所述固态成像器件包括：半导体基板，具有接收入射光的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面；第一沟槽和第二沟槽，设置在所述半导体基板的所述第一表面中；以及第一凹入结构和第二凹入结构，设置在所述第一沟槽和所述第二沟槽之间，并在所述半导体基板的所述第一表面中，所述第一凹入结构和所述第二凹入结构的深度比所述第一沟槽和所述第二沟槽的深度浅。本发明的技术可例如应用于背面照射型固态成像器件。

本申请是申请日为2014年06月20日、发明名称为“固态成像器件、固态成像器件的制造方法及电子装置”的申请号为201480028257.6专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及固态成像器件、固态成像器件的制造方法以及电子装置，并具体地涉及能够在抑制混色恶化的同时提高灵敏度的固态成像器件、固态成像器件的制造方法以及电子装置。

背景技术

在固态成像器件中，已经提出了所谓的蛾眼结构(moth-eye structure)以作为用于防止入射光反射的结构，在蛾眼结构中，在形成有光电二极管的硅层的处于光接收表面侧的界面上设置微细凸凹结构(例如，参见专利文献1和2)。

引用文献列表

专利文献

专利文献1：日本专利申请特开第2010-272612号

专利文献2：日本专利申请特开第2013-33864号

发明内容

本发明要解决的问题

然而，能够通过防止入射光反射来提高灵敏度的蛾眼结构还会引起更大的漫射，使得大量的光泄漏到邻近像素中，并因而使混色恶化。

本发明是考虑到这种情况而提出的，且本发明的目的在于在抑制混色劣化的同时提高灵敏度。

问题的解决方案

根据本发明的第一方面的固态成像器件包括：具有蛾眼结构的防反射部，其设置在处于二维地布置的每个像素的光电转换区域的光接收表面侧的界面上；以及用于以阻挡入射光的像素间遮光部，其设置在所述防反射部的所述界面下方。

根据本发明的第二方面的固态成像器件的制造方法包括：在处于二维地布置的每个像素的光电转换区域的光接收表面侧的界面上形成具有蛾眼结构的防反射部；以及在所述防反射部的所述界面下方形成用于阻挡入射光的像素间遮光部。

在本发明的第二方面中，具有所述蛾眼结构的所述防反射部形成在二维地布置的每个像素的所述光电转换区域的所述光接收表面侧的所述界面上，而用于阻挡入射光的所述像素间遮光部形成在所述防反射部的所述界面下方。

根据本发明的第三方面的电子装置包括如下固态成像器件，述固态成像器件包括具有蛾眼结构的防反射部以及用于阻挡入射光的像素间遮光部，所述防反射部设置在处于二维地布置的每个像素的光电转换区域的光接收表面侧的界面上，且所述像素间遮光部设置在所述防反射部的所述界面下方。

在本发明的第一和第三方面中，具有所述蛾眼结构的所述防反射部设置在二维地布置的每个像素的所述光电转换区域的所述光接收表面侧的所述界面上，而用于阻挡入射光的所述像素间遮光部形成在所述防反射部的所述界面下方。

所述固态成像器件和所述电子装置可以是单独的将要内置到另一装置中的装置或模块。

本发明的效果

根据本发明的第一至第三方面，可在抑制混色劣化的同时提高灵敏度。

附图说明

图1是图示了根据本发明的固态成像器件的示意结构的示图。