[发明专利]一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法在审
申请号: | 201910976835.3 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN110578167A | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 徐明;孟涛;张志强;周鹤军 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人: | 曹翠珍;楼高潮 |
地址: | 014010 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙;15 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 回收料 坩埚 装料 硅料 坩埚侧壁 侧壁 小块 挤压 多晶硅铸锭 均匀地铺 均匀排列 受热膨胀 四角位置 线性接触 掺杂剂 硅原料 堆叠 斜靠 溢流 装入 四面 膨胀 铺设 保证 | ||
1.一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1)在坩埚底部均匀地铺满长度尺寸在3~12mm的小块硅料;
步骤2)在所述小块硅料之上采用均匀排列的方式铺设方形回收料,之后再在所述坩埚的四角位置放置晶砖回收料或堆叠的方形回收料;
步骤3)将边皮回收料斜靠在所述坩埚的侧壁上,保证坩埚四面的侧壁不被露出,所述边皮回收料与坩埚侧壁之间呈线性接触,两者之间形成的夹角<10°;
步骤4)装入硅原料以及掺杂剂,完成装料。
2.根据权利要求1所述的一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法,其特征在于,所述回收料均为多晶铸锭过程中回收的硅原料。
3.根据权利要求1所述的一种保护坩埚侧壁涂层的装料方法,其特征在于,步骤2)所述晶砖回收料或堆叠的方形回收料与坩埚侧壁的距离≥1cm。
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