[发明专利]能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法

权利要求书

1.一种能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：包括以下步骤：

a. 以预定拉速作为单晶硅棒进入收尾的拉速；

b. 根据单晶硅棒直径与坩埚内径的比值控制埚升；

c.以步骤a、步骤b 的方法完成第一次收尾，并获得第一收尾晶棒，对第一收尾晶棒的尾部等比例划线；以第一次收尾的单晶硅棒的长度为X轴，分别以第一次收尾的收尾温度、收尾拉速为Y轴，获取第一收尾坐标谱图；

d. 将等比例划线的第一收尾晶棒放置与第一收尾坐标谱图上，并使得第一收尾晶棒的轴线平行第一收尾坐标谱图的X轴，此时，根据第一收尾晶棒的异形趋势对对应长度处的收尾温度或收尾拉速进行调整，若异形趋势表现为偏快，则下调拉速和/或下调温度；若异形趋势表现为偏慢，则上调拉速和/或上调温度；从而获得第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据；

e. 以第一次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第二次收尾，重复上述步骤c、步骤d，获得第二次调整后收尾温度与收尾拉速数据；

f. 参考步骤c、步骤d、步骤e，以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据完成第（N+1）次收尾，直至所得第（N+1）收尾晶棒的尾部形状规整，其中N为≥1的整数；

g. 以第N次调整后收尾温度与收尾拉速数据作为单晶炉收尾控制参数，投入生产。

2.如权利要求1所述的能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：假设单晶硅棒尾部等比例划线后，每一段的长度为L，其中L0；

当收尾直径缩小1.5L mm及以上时，温度下调10%~40%，或拉速下调10%~30%；

当收尾直径缩小0.5L mm及以下时，温度上调10%~40%，或拉速上调10%~30%。

3.如权利要求2所述的能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：3mm ≤ L≤ 40mm。

4.如权利要求3所述的能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：

对第一收尾晶棒等比例划线时，3mm ≤ L ≤ 10mm；

对第N收尾晶棒等比例划线时，其中N为≥2的整数，20mm ≤ L ≤ 40mm。

5.如权利要求1所述的能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：2≤ N ≤5。

6.如权利要求1所述的能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：步骤a中，预定拉速为单晶晶棒收尾前等径m min内的平均拉速，其中，m0。

7.如权利要求1所述的能够提高收尾成功率的单晶炉收尾方法，其特征在于：步骤b中，当坩埚内径与单晶晶棒直径的比值为1.2~2.4时，增加收尾埚升，待坩埚内径与单晶晶棒直径比值为大于2.4时，将埚升停止。