[发明专利]气泡检测传感器装置在审
申请号: | 201910977589.3 | 申请日: | 2019-10-15 |
公开(公告)号: | CN110530920A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 温赛赛;俞童;宋阳阳;钟蓝倩 | 申请(专利权)人: | 苏州原位芯片科技有限责任公司 |
主分类号: | G01N25/00 | 分类号: | G01N25/00 |
代理公司: | 11226 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 李明;赵吉阳<国际申请>=<国际公布>= |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气泡传感器 信号采集处理模块 气泡检测传感器 温度变化信号 第二保护层 第一保护层 感温元件 支撑层 传感器技术领域 传感器灵敏度 流体流过 依次设置 电连接 传感器 流体 转换 检测 | ||
1.一种气泡检测传感器装置,其特征在于,包括气泡传感器以及与所述气泡传感器电连接的信号采集处理模块,所述气泡传感器包括支撑层、依次设置在所述支撑层上的第一保护层和第二保护层以及夹在所述第一保护层和所述第二保护层之间的至少一个感温元件;其中,
所述感温元件,用于检测流体流过时的温度变化信号,并将所述温度变化信号转换为电信号;
所述信号采集处理模块,用于根据所述电信号确定所述流体中的气泡信息。
2.根据权利要求1所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,所述信号采集处理模块根据下述关系式确定所述流体中的气泡信息:
V=π*R2*L; (1)
L=v*t; (2)
其中,V为气泡体积,π为圆周率,R为流道半径,L为气泡长度,v为气泡速度,t为感温元件温度变化的时间。
3.根据权利要求1所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,所述气泡传感器包括沿流体流动方向间隔设置的两个所述感温元件,分别为第一感温元件和第二感温元件;其中,
所述第一感温元件,用于检测流体流过时的第一温度变化信号,并将所述第一温度变化信号转换为第一电信号;
所述第二感温元件,用于检测流体流过时的第二温度变化信号,并将所述第二温度变化信号转换为第二电信号;
所述信号采集处理模块,还用于根据所述第一电信号和所述第二电信号,确定所述流体的流向。
4.根据权利要求3所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,所述第一感温元件和所述第二感温元件的间隙范围为100nm~2mm。
5.根据权利要求3所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,所述信号采集处理模块,具体用于:
当所述第一电信号和所述第二电信号的差值等于预设基准值时,确定所述流体静止;
当所述第一电信号和所述第二电信号的差值大于所述预设基准值时,确定所述流体从所述第一感温元件流向所述第二感温元件;
当所述第一电信号和所述第二电信号的差值小于所述预设基准值时,确定所述流体从所述第二感温元件流向所述第一感温元件。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,还包括连接器,所述连接器的第一端与所述感温元件相连,所述连接器的第二端与所述信号采集处理模块相连。
7.根据权利要求1至5中任意一项所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,所述信号采集处理模块和所述感温元件集成在同一个芯片上。
8.根据权利要求1至5中任意一项所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,还包括连接器,所述信号采集处理模块包括第一部分和第二部分,所述第一部分与所述感温元件集成在同一芯片上,所述连接器的第一端与所述第一部分相连,所述连接器的第二端与所述第二部分相连。
9.根据权利要求1至5中任意一项所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,所述第一保护层包括多层层叠设置的第一保护子层;和/或,
所述第二保护层包括多层层叠设置的第二保护子层。
10.根据权利要求1至5中任意一项所述的气泡检测传感器装置,其特征在于,所述支撑层在对应所述感温元件的位置处设置有贯穿其厚度的凹槽。
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