[发明专利]柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管及其制备方法有效

申请号：	201910977844.4	申请日：	2019-10-15
公开（公告）号：	CN110838519B	公开（公告）日：	2022-07-19
发明（设计）人：	徐旻轩;李馨;金成超;何志伟;张骐	申请（专利权）人：	杭州电子科技大学
主分类号：	H01L29/22	分类号：	H01L29/22;H01L29/24;H01L29/732;H01L21/34;H01L31/0296;H01L31/032;H01L31/11;H01L41/08;H01L41/113;H01L41/18
代理公司：	杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240	代理人：	杨舟涛
地址：	310018 浙***	国省代码：	浙江;33
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摘要：
搜索关键词：	柔性 zno nio 多功能三极管及其制备方法
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【权利要求书】：

1.柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，其特征在于：该结构为从上到下依次为发射极、基极、集电极、柔性导电衬底；所述的柔性导电衬底为柔性衬底上设有导电层；所述的发射极材料为ZnO，所述的基极材料为NiO，所述的集电极材料为ZnO，所述的发射极、基极、集电极的一侧对齐，所述的发射极和柔性衬底的导电层上设有电极。

2.根据权利要求1所述的柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，其特征在于：所述集电极为20mm×10mm×320nm大小的薄膜，采用导电PET为基底通过磁控溅射法进行制备。

3.根据权利要求1所述的柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，其特征在于：所述基极为20mm×10mm×80nm大小的薄膜，在集电极上直接磁控溅射进行制备。

4.根据权利要求1所述的柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，其特征在于：所述发射极层为5mm×10mm×320nm大小的薄膜，在基极上直接磁控溅射进行制备。

5.根据权利要求1所述的柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，其特征在于：所述的导电层为ITO涂层。

6.根据权利要求1所述的柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，其特征在于：所述的柔性衬底为PET片。

7.根据权利要求1所述的柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管，其特征在于：所述电极材料为银、铂或金。

8.根据权利要求1所述的柔性ZnO/NiO/ZnO多功能三极管的制备方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：

步骤一：柔性衬底在丙酮、酒精、去离子水中各超声10分钟，然后用N₂吹干备用；

步骤二：采用磁控溅射法在柔性衬底上直接制备导电层；

步骤三：通过PI胶带遮盖部分导电层，通过磁控溅射在导电层上制备n型ZnO薄膜作为集电极；

步骤四：在集电极表面直接磁控溅射制备p型NiO薄膜作为基极；

步骤五：通过PI胶带遮盖部分基极，采用与集电极相同的参数进行磁控溅射制备n型ZnO薄膜作为发射极；