[发明专利]金属薄膜预对准装置、金属薄膜预对准方法及张网设备在审

专利信息
申请号: 201910978732.0 申请日: 2019-10-15
公开(公告)号: CN112662990A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 吴福龙 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/54
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 胡彬
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 金属 薄膜 对准 装置 方法 设备
【权利要求书】:

1.一种金属薄膜预对准装置,其特征在于,包括:支撑框架(10)、支承板(20)、回转轴承(30)和驱动电机,所述回转轴承(30)设置在所述支撑框架(10)和所述支承板(20)之间,且所述回转轴承(30)的外圈与所述支撑框架(10)连接,所述回转轴承(30)的内圈与所述支承板(20)连接,所述驱动电机包括电机定子(41)和电机动子(42),所述电机定子(41)与所述支撑框架(10)连接,所述电机动子(42)与所述支承板(20)连接,所述电机动子(42)被配置为能够在所述电机定子(41)的驱动下带动所述支承板(20)绕所述回转轴承(30)的中心转动。

2.根据权利要求1所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述电机定子(41)和所述电机动子(42)中一个为磁铁,另一个为线圈,所述支撑框架(10)的一端设置有定子安装架,所述支承板(20)上对应的位置上设置有动子安装架,所述电机定子(41)与所述定子安装架连接,所述电机动子(42)与所述动子安装架连接。

3.根据权利要求2所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括光栅位移传感器和控制器,所述光栅位移传感器的光栅尺设置在所述支承板(20)上,所述光栅传感器的光栅读数头(122)设置所述支撑框架(10)上,所述控制器分别与所述驱动电机和所述光栅读数头(122)连接。

4.根据权利要求2所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括第一隔磁板(151)和第二隔磁板(152),所述第一隔磁板(151)设置在所述电机定子(41)上,且所述第一隔磁板(151)设置在所述电机定子(41)与所述支承板(20)之间,所述第二隔磁板(152)设置在所述支承板(20)上,所述第二隔磁板(152)设置在所述支承板(20)与所述第一隔磁板(151)之间。

5.根据权利要求2所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括平衡块(130),所述平衡块(130)设置在所述支承板(20)的与设置有所述动子支撑架的一端相对的另一端上。

6.根据权利要求1至5任一项所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括滚珠支撑件,所述滚珠支撑件包括安装座(141)和万向滚珠(142),所述安装座(141)设置在所述支撑框架(10)上,所述万向滚珠(142)设置在所述安装座(141)上,且所述万向滚珠(142)与所述支承板(20)抵接。

7.根据权利要求6所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述滚珠支撑件还包括摩擦板(143),所述摩擦板(143)设置在所述万向滚珠(142)和所述支承板(20)之间。

8.根据权利要求1至5任一项所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括限位传感器(171)和传感器挡片(172),所述限位传感器(171)设置在所述支撑框架(10)上,所述传感器挡片(172)设置在所述支承板(20)上。

9.根据权利要求1至5任一项所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括机械限位安装板(181)和机械限位挡板(182),所述机械限位安装板(181)设置在所述支撑框架(10)上,所述机械限位挡板(182)设置在所述支承板(20)上。

10.根据权利要求9所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括限位缓冲器(183),所述限位缓冲器(183)设置在所述机械限位安装板(181)上。

11.根据权利要求1至5任一项所述的金属薄膜预对准装置,其特征在于,所述金属薄膜预对准装置还包括磁条(160),所述磁条(160)设置在所述支承板(20)上。

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